高速透平真空泵，包括自控柜，主抽真空管路，抽中、低壓真空單元和抽高真空單元，抽中、低壓真空單元，包括高速透平風(fēng)機和風(fēng)機驅(qū)動電機；抽高真空單元，包括容積式真空機和真空機驅(qū)動電機；主抽真空管路上裝設(shè)有真空壓力傳感器A和B，主抽真空管路通過支管與高速透平風(fēng)機的入氣口連接，在支管上裝設(shè)有電磁閥C，主抽真空管路通過支管與容積式真空機的入氣口連接，在支管上裝設(shè)有電磁閥D。本發(fā)明因采用了高速透平風(fēng)機而且具有其它品種真空泵無法同時達到的抽氣速率(150～20000L/S)和真空度 (0.099MPa)，且自動化程度高，適應(yīng)當前科技高速發(fā)展的需要，可廣泛應(yīng)用于冶金、石油、化工、食品、航空、航天、制藥、制糖、印染、陶瓷、環(huán)保、電子及科研等行業(yè)。