羅茨真空泵是一種旋轉式容積真空泵。其結構形式是由羅茨鼓風機演變而來的。它于1944年s*先出現(xiàn)于德國,是為適應在10~1000Pa壓力范圍內具有大抽速的真空熔煉系統(tǒng)而作為機械增壓泵使用。根據(jù)羅茨真空泵工作壓力范圍的不同,分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。國內用量z*多的為中真空羅茨泵。羅茨真空泵與其它油封式真空泵相比有以下特點:
(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;
(2)轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現(xiàn)較高轉速;
(3)泵腔內無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;
(4)泵腔內無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;
(5)壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;
(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。羅茨真空泵近幾年在國內外得到較快的發(fā)展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業(yè)得到了廣泛的應用。
羅茨真空泵
2007-01-17 09:48:47 閱讀()
來源:中國化工網(wǎng)關注排行
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