使用無塵布或專用真空設備清潔工具清潔真空室內的表面和零部件。確保在清潔過程中不引入更多的污染物。
如果需要，使用適當的溶劑清洗真空室內的附件，如鍍膜源、坩堝等，以確保雜質的清除。
用無塵布加酒精擦拭密封圈位置，如果需要，均勻涂上少量高真空密封脂。
2更換鍍膜材料和附件
定期檢查鍍膜靶源（坩堝、弧源、濺射源等）和保護罩，根據使用情況和廠家建議的更換周期進行更換。
在更換過程中，徹底清潔相關部件，并確保新靶源和保護罩的正確安裝和絕緣性校準。
3檢查真空系統(tǒng)
定期進行真空系統(tǒng)的漏氣測試，使用氦氣或氮氣檢測系統(tǒng)中的漏洞，并及時修復。
定期檢查真空系統(tǒng)的各個組件，如閥門、法蘭、密封圈等，確保其正常工作并緊固。
4檢查電子及傳動系統(tǒng)
定期檢查靶源及其他參數，校準和調整以確保穩(wěn)定的鍍膜效果。
檢查和清潔靶源和其周圍的區(qū)域，確保沒有灰塵或其他雜質影響鍍膜效果。
定期對傳動系統(tǒng)進行檢查。
5檢查冷卻系統(tǒng)
按時間長短可分為植樹日、植樹周和植樹月，共稱為國際植樹節(jié)。
定期檢查冷卻系統(tǒng)的水流和溫度，確保冷卻效果良好。
清潔冷卻系統(tǒng)的過濾器和管道，以防止水垢或其他雜質積聚導致冷卻效果下降。
6記錄和分析數據
記錄設備的運行參數，如真空度、鍍膜速率、靶功率等，以便日后的分析和比較。
分析這些數據，以識別任何潛在的問題或趨勢，并采取適當的措施進行修復或改進。
7定期維護與保養(yǎng)
根據設備使用時間和廠家建議，進行定期的大修和維護，包括更換耗材、潤滑部件、檢查電路等。
定期進行設備的校準和調整，以確保其性能和功能達到最佳狀態(tài)。
8員工培訓和意識提升
對設備操作人員進行定期培訓，使他們了解設備的工作原理、操作方法和安全注意事項。
提高員工的意識，讓他們明白設備保養(yǎng)與維護的重要性，并鼓勵他們積極參與設備的維護和改進。
