【康沃真空網(wǎng)】真空計校準(zhǔn)在真空測量領(lǐng)域占據(jù)著至關(guān)重要的地位，它是整個真空測量研究與發(fā)展的關(guān)鍵支撐工具。通過校準(zhǔn)，不僅能將現(xiàn)有的相對真空計統(tǒng)一于可靠的標(biāo)準(zhǔn)之下，還能對處于發(fā)展階段的真空計性能展開深入研究。所謂“真空計校準(zhǔn)”，其實質(zhì)是對相對真空計進(jìn)行“刻度”操作。需要注意的是，真空計刻度是在特定條件下針對特定種類氣體開展的，由此獲得校準(zhǔn)系數(shù)或刻度曲線。一旦氣體種類改變或者工作條件發(fā)生變化，原有的校準(zhǔn)曲線便不再適用，必須重新校準(zhǔn)。即使是同一臺測量儀器，若更換了規(guī)管，其校準(zhǔn)曲線也會相應(yīng)改變。由此可見，對相對真空計進(jìn)行校準(zhǔn)不僅非常必要，而且需要定期開展，否則可能會產(chǎn)生超出允許范圍的測量誤差。校準(zhǔn)是針對真空計整體而言的，既涵蓋了作為一次儀表的真空規(guī)管，也包括作為二次儀表的電子線路。通常情況下，二者會一起進(jìn)行校準(zhǔn)，不過分別對真空計規(guī)管和電子線路進(jìn)行校準(zhǔn)是更為理想的方式。
01真空計校準(zhǔn)的含義
真空計校準(zhǔn)需要具備標(biāo)準(zhǔn)真空計和校準(zhǔn)系統(tǒng)，并通過特定方法來實現(xiàn)。
真空標(biāo)準(zhǔn)包括絕對真空計、標(biāo)準(zhǔn)相對真空計（或副標(biāo)準(zhǔn)真空計）以及絕對校準(zhǔn)系統(tǒng)。
所有的絕對真空計都可充當(dāng)真空標(biāo)準(zhǔn)。以絕對真空計為基準(zhǔn)，通過對壓力衰減后精確計算出的再生低壓力作為標(biāo)準(zhǔn)的真空計校準(zhǔn)系統(tǒng)被稱為絕對校準(zhǔn)系統(tǒng)。
例如，膨脹法校準(zhǔn)系統(tǒng)運用靜力熱平衡原理，其理論依據(jù)是理想氣體的玻意耳定律，這一系統(tǒng)將U型管壓力計的校準(zhǔn)下限延伸至高真空（10??Pa）。穩(wěn)定性和精度較高的真空計在經(jīng)過校準(zhǔn)后，可作為次級標(biāo)準(zhǔn)，用于對工作真空計進(jìn)行校準(zhǔn)，此類真空計被稱作副標(biāo)準(zhǔn)真空計。在計量學(xué)范疇內(nèi)，標(biāo)準(zhǔn)是按照精度等級排列而成的體系。
02真空計校準(zhǔn)的實現(xiàn)1990年5月1日，國家技術(shù)監(jiān)督局批準(zhǔn)并開始實施“真空計量器具檢定系統(tǒng)”（JJG2022-89）這一重要標(biāo)準(zhǔn)。
隨著現(xiàn)代科技的飛速發(fā)展，真空技術(shù)領(lǐng)域也取得了顯著的進(jìn)步。當(dāng)前，真空獲得以及真空測量的范圍已經(jīng)有了極大的拓展，從原本的大氣壓（10?Pa）延伸到了極高真空（<10?1?Pa）這樣一個極為寬廣的區(qū)間。
然而，在實際的工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究活動中，經(jīng)過大量實踐和統(tǒng)計發(fā)現(xiàn)，人們所涉及的壓力范圍主要集中在10??～10?Pa之間。在這個特定的壓力區(qū)間內(nèi)，為了保證真空度量值的準(zhǔn)確性和一致性，“真空計量器具檢定系統(tǒng)”應(yīng)運而生。
這個檢定系統(tǒng)有著至關(guān)重要的作用。它是保障真空度量值準(zhǔn)確可靠的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，通過它能夠?qū)崿F(xiàn)真空度量值在不同環(huán)節(jié)和設(shè)備之間的有效傳遞。具體而言，在真空計量領(lǐng)域，各級真空計時器具的準(zhǔn)確性對于整個測量工作至關(guān)重要。檢定系統(tǒng)就像是一把精準(zhǔn)的尺子，為這些真空計時器具提供了統(tǒng)一的衡量標(biāo)準(zhǔn)，能夠?qū)Ω骷壵婵沼嫊r器具進(jìn)行嚴(yán)格的檢定。而且需要強(qiáng)調(diào)的是，該檢定系統(tǒng)主要是針對10??～10?Pa這一特定壓力范圍的。在這個范圍內(nèi)，無論是計量部門用于校準(zhǔn)和檢測的真空標(biāo)準(zhǔn)裝置，還是科研部門在實驗過程中使用的真空計，亦或是工業(yè)部門在生產(chǎn)環(huán)節(jié)涉及的真空計量設(shè)備，都需要依據(jù)這個檢定系統(tǒng)來進(jìn)行檢定，以此確保整個工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究過程中真空度量值的精確性和可靠性，避免因真空計量不準(zhǔn)確而導(dǎo)致的各種問題，如實驗結(jié)果偏差、生產(chǎn)質(zhì)量不穩(wěn)定等。
