【康沃真空網(wǎng)】2022年8月5日，真空技術(shù)行業(yè)中國主導(dǎo)制定的ISO 24477：2022正式發(fā)布實施，是我國真空技術(shù)行業(yè)在真空測量裝置領(lǐng)域首項主導(dǎo)制定的ISO標(biāo)準(zhǔn)。
該標(biāo)準(zhǔn)由我國蘭州空間技術(shù)物理研究所牽頭，東北大學(xué)、蘭州文理學(xué)院、沈陽真空技術(shù)研究所有限公司、北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所、中國計量科學(xué)研究院亦參與完成了標(biāo)準(zhǔn)的制定工作。
標(biāo)準(zhǔn)范圍
該標(biāo)準(zhǔn)定義了磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計的相關(guān)術(shù)語，規(guī)定了在應(yīng)用過程中需要給定的參數(shù)和詳細(xì)的校準(zhǔn)步驟，以及需要考慮的不確定度分量。
在校準(zhǔn)磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計或?qū)⑵溆米鳂?biāo)準(zhǔn)真空計時，該標(biāo)準(zhǔn)是對ISO 3567《真空計 與標(biāo)準(zhǔn)真空計直接比較校準(zhǔn)》和ISO 27893《真空技術(shù) 真空計 與標(biāo)準(zhǔn)真空計直接比較校準(zhǔn)結(jié)果的不確定度評定》的進一步補充。
目的和意義
在全球認(rèn)可和非認(rèn)可的校準(zhǔn)服務(wù)中，磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計被廣泛用作標(biāo)準(zhǔn)真空計。
因為ISO 3567和 ISO 27893未能全部覆蓋磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計的校準(zhǔn)過程及其作為標(biāo)準(zhǔn)真空計時的使用要求，所以制定本標(biāo)準(zhǔn)以規(guī)范如何正確校準(zhǔn)磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計，以及如何用作標(biāo)準(zhǔn)真空計。
這對于在所有應(yīng)用領(lǐng)域進行的真空工藝過程，尤其是對于半導(dǎo)體工業(yè)、光伏、鍍膜工業(yè)、航空航天、核工業(yè)等高真空應(yīng)用領(lǐng)域，能夠?qū)崿F(xiàn)真空量值溯源具有舉足輕重的意義。
該標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布實施，可為磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計生產(chǎn)企業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)等應(yīng)用領(lǐng)域的生產(chǎn)企業(yè)、全球真空領(lǐng)域認(rèn)可校準(zhǔn)實驗室和擁有二級傳遞標(biāo)準(zhǔn)的國家計量院提供了技術(shù)支撐和參照標(biāo)準(zhǔn)。
