【康沃真空網(wǎng)】1 中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)上市公司整體情況
中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈上游為零部件及系統(tǒng)供應(yīng)環(huán)節(jié)，零部件包括軸承、傳感器、石英、邊緣環(huán)、射頻發(fā)生器、機(jī)械臂等，核心子系統(tǒng)包括氣液流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電源及氣體反應(yīng)、熱管理系統(tǒng)、集成系統(tǒng)等；中游為各類半導(dǎo)體設(shè)備，主要包括光刻機(jī)、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、真空鍍膜設(shè)備、清洗設(shè)備、離子注入設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、CMP設(shè)備、熱處理設(shè)備等；下游應(yīng)用于半導(dǎo)體制造。代表性企業(yè)有北方華創(chuàng)、盛美上海、中微公司等。
2 中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)上市公司區(qū)域分布情況
中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)主要集中在沿海經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)地區(qū)。長三角地區(qū)如上海、江蘇等地，憑借深厚的工業(yè)基礎(chǔ)和豐富的人才資源，在光刻、刻蝕等核心設(shè)備研發(fā)制造以及產(chǎn)業(yè)鏈上游零部件供應(yīng)方面表現(xiàn)突出，集聚了中微公司等龍頭企業(yè)；珠三角地區(qū)以深圳為核心，在半導(dǎo)體設(shè)備的下游應(yīng)用以及部分設(shè)備的組裝制造環(huán)節(jié)優(yōu)勢明顯，且在創(chuàng)新應(yīng)用場景開拓上獨(dú)具活力；京津冀地區(qū)則依托北京的科研實(shí)力，在半導(dǎo)體設(shè)備的基礎(chǔ)研究和關(guān)鍵技術(shù)突破方面成果顯著，北方華創(chuàng)在此區(qū)域占據(jù)重要地位。不同地區(qū)在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)上有明顯的分工傾向，且區(qū)域間產(chǎn)業(yè)協(xié)同逐步加強(qiáng)，推動產(chǎn)業(yè)集群效應(yīng)不斷凸顯。
3 中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)上市公司經(jīng)營情況對比分析
多數(shù)公司實(shí)現(xiàn)營收增長，16家企業(yè)中有13家在2024年前三季度營業(yè)收入保持正增長，顯示出行業(yè)整體發(fā)展態(tài)勢積極。從毛利率來看，行業(yè)毛利率在30%以上，企業(yè)產(chǎn)品盈利能力強(qiáng)。北方華創(chuàng)作為綜合性半導(dǎo)體設(shè)備巨頭，營收規(guī)模遙遙領(lǐng)先，2024年前三季度營收超200億元，毛利率穩(wěn)定在40%左右，依靠豐富的產(chǎn)品線和強(qiáng)大的技術(shù)研發(fā)能力，在國內(nèi)市場份額持續(xù)擴(kuò)大。中微公司專注于刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備，營收增速迅猛，毛利率高達(dá)45%以上，在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平，在全球市場與國際巨頭競爭中不斷搶占份額。盛美上海以清洗設(shè)備為核心，營收穩(wěn)步增長，毛利率在35%-40%區(qū)間，其創(chuàng)新的單片清洗技術(shù)打破國外壟斷，在國內(nèi)清洗設(shè)備市場占據(jù)主導(dǎo)地位。
4 中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)上市公司業(yè)務(wù)布局情況
（一）真空鍍膜設(shè)備
在真空鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，上市公司主要有光韻達(dá)等。光韻達(dá)在激光精密制造服務(wù)基礎(chǔ)上，拓展真空鍍膜設(shè)備業(yè)務(wù)，其真空鍍膜設(shè)備主要應(yīng)用于3C產(chǎn)品、汽車零部件等領(lǐng)域。公司憑借在激光技術(shù)領(lǐng)域積累的光學(xué)、機(jī)械、自動化控制等技術(shù)優(yōu)勢，實(shí)現(xiàn)真空鍍膜設(shè)備的快速研發(fā)與迭代。從市場份額看，在國內(nèi)中低端真空鍍膜設(shè)備市場有一定占比，但在高端市場，面對國外老牌企業(yè)如德國萊寶、日本愛發(fā)科等競爭，份額相對較小。
（二）清洗設(shè)備
盛美上海是清洗設(shè)備領(lǐng)域的佼佼者。其自主研發(fā)的單片兆聲波清洗技術(shù)、空間交變相位移清洗技術(shù)等處于國際領(lǐng)先水平。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路制造、先進(jìn)封裝、化合物半導(dǎo)體等多個(gè)領(lǐng)域，國內(nèi)市場份額超過60%，在全球市場份額也逐年提升。公司持續(xù)加大研發(fā)投入，不斷拓展清洗設(shè)備的應(yīng)用場景和技術(shù)邊界，與國內(nèi)各大晶圓制造企業(yè)建立長期穩(wěn)定合作關(guān)系，引領(lǐng)國內(nèi)清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展。
（三）離子注入設(shè)備
萬業(yè)企業(yè)旗下的凱世通專注于離子注入設(shè)備研發(fā)制造。在集成電路、光伏、顯示等領(lǐng)域均有布局。其推出的低能大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)等產(chǎn)品，打破國外技術(shù)封鎖，逐步實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代。在國內(nèi)集成電路離子注入設(shè)備市場份額不斷增長，已接近30%。但與國際離子注入設(shè)備巨頭美國應(yīng)用材料相比，在設(shè)備的精度、穩(wěn)定性以及產(chǎn)品種類豐富度上仍有提升空間。
（四）涂膠顯影設(shè)備
芯源微在涂膠顯影設(shè)備領(lǐng)域深耕多年。其產(chǎn)品涵蓋光刻膠涂覆、顯影、烘烤等工藝環(huán)節(jié)，主要應(yīng)用于集成電路前道制造、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域。在國內(nèi)前道涂膠顯影設(shè)備市場占據(jù)一定份額，尤其在中低端市場具備競爭優(yōu)勢。公司不斷加強(qiáng)與國內(nèi)科研機(jī)構(gòu)合作，提升技術(shù)創(chuàng)新能力，研發(fā)適用于更高制程的涂膠顯影設(shè)備，逐步縮小與國際先進(jìn)水平差距，如日本東京電子在該領(lǐng)域處于全球領(lǐng)先地位，芯源微正努力追趕。
（五）CMP設(shè)備
華海清科在CMP設(shè)備領(lǐng)域一枝獨(dú)秀。其自主研發(fā)的12英寸CMP設(shè)備已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)銷售，廣泛應(yīng)用于集成電路制造、先進(jìn)封裝等環(huán)節(jié)。憑借高平整度、低缺陷率等技術(shù)優(yōu)勢，在國內(nèi)CMP設(shè)備市場份額超過80%，打破國外壟斷。公司持續(xù)優(yōu)化設(shè)備性能，推出針對不同材料和工藝的CMP解決方案，積極拓展海外市場，在國際市場上與美國應(yīng)用材料、日本荏原等企業(yè)展開競爭，逐步提升國際影響力。
（六）熱處理設(shè)備
北方華創(chuàng)在熱處理設(shè)備方面具有深厚技術(shù)積累。其生產(chǎn)的擴(kuò)散爐、退火爐等熱處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的各個(gè)環(huán)節(jié)。公司依托綜合性研發(fā)平臺，實(shí)現(xiàn)熱處理設(shè)備與其他半導(dǎo)體設(shè)備的協(xié)同研發(fā)與配套，產(chǎn)品具備高精度溫度控制、良好工藝均勻性等特點(diǎn)。在國內(nèi)熱處理設(shè)備市場占據(jù)主導(dǎo)地位，市場份額超過50%。在國際市場，與美國Mattson、德國Centrotherm等企業(yè)競爭，通過不斷提升產(chǎn)品性能和服務(wù)質(zhì)量，逐步擴(kuò)大海外市場份額。
從業(yè)務(wù)占比數(shù)據(jù)來看，大部分公司在其專注的產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)業(yè)務(wù)占比較高，如華亞智能、聯(lián)動科技、金海通等公司的相關(guān)業(yè)務(wù)占比均超過90%。從重點(diǎn)區(qū)域布局看，多數(shù)公司的業(yè)務(wù)布局既包括境內(nèi)市場，也涉及境外市場，體現(xiàn)了行業(yè)的國際化特征。從業(yè)務(wù)布局看，中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)上市公司在多個(gè)領(lǐng)域都有布局和發(fā)展，在一定程度上實(shí)現(xiàn)了進(jìn)口設(shè)備的替代。
