【康沃真空網(wǎng)】昆明物理研究所為了滿足國(guó)家安全戰(zhàn)略需求，于2020年啟動(dòng)研制碲鎘汞分子束外延設(shè)備項(xiàng)目，對(duì)MBE設(shè)備的真空度、溫度、束流等關(guān)鍵控制技術(shù)進(jìn)行了攻關(guān)，成功研制了一臺(tái)4英寸襯底的碲鎘汞分子束外延設(shè)備。2023年5月15日，受昆明物理研究所委托，由上海市真空學(xué)會(huì)組織的專家評(píng)審組在復(fù)旦大學(xué)光電研究院召開(kāi)了由昆明物理所研制的“碲鎘汞分子束外延設(shè)備”技術(shù)成果鑒定會(huì)。
鑒定委員會(huì)由華東師范大學(xué)教授/亞太材料科學(xué)院孫卓院士、復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院盧紅亮教授、上海大學(xué)平板顯示工程技術(shù)研究中心李喜峰教授，復(fù)旦大學(xué)光電研究院莫曉亮副研究員和上海市真空學(xué)會(huì)韓建華高級(jí)工程師等5名專家組成。鑒定委員會(huì)聽(tīng)取了昆明物理研究所王善力研究員團(tuán)隊(duì)研制的完成情況匯報(bào)，觀看了設(shè)備的視頻錄像。審閱了研制總結(jié)報(bào)告、相關(guān)應(yīng)用證明、階段驗(yàn)收表、驗(yàn)收規(guī)程、先進(jìn)性說(shuō)明、市場(chǎng)情況分析等報(bào)告資料。
經(jīng)鑒定委員會(huì)討論認(rèn)為；碲鎘汞分子束外延設(shè)備的研制成功打破了該設(shè)備國(guó)外對(duì)中國(guó)的禁運(yùn)，實(shí)現(xiàn)了國(guó)內(nèi)類似設(shè)備的首臺(tái)銷售，經(jīng)濟(jì)效益顯著?？蓾M足未來(lái)國(guó)內(nèi)對(duì)MBE設(shè)備的需求，填補(bǔ)了云南省在此類設(shè)備的空白，有力地支持了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展。該碲鎘汞分子束外延設(shè)備技術(shù)指標(biāo)達(dá)到設(shè)計(jì)要求，設(shè)備研制水平處于國(guó)內(nèi)一流，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。建議該設(shè)備在真空行業(yè)內(nèi)加強(qiáng)推廣，為實(shí)現(xiàn)科技自立自強(qiáng)多作貢獻(xiàn)。
