【康沃真空網(wǎng)】3月13日消息，據(jù)報(bào)道，國產(chǎn)半導(dǎo)體材料供應(yīng)商晶瑞電材表示，公司KrF高端光刻膠部分品種已量產(chǎn)！
據(jù)晶瑞電材介紹，子公司瑞紅(蘇州)電子化學(xué)品股份有限公司的KrF光刻膠產(chǎn)品分辨率達(dá)到了 0.25~0.13μm 的技術(shù)要求，已通過部分重要客戶測試，KrF高端光刻膠部分品種已量產(chǎn)。
據(jù)了解，晶瑞電材是國內(nèi)最早從事光刻膠生產(chǎn)的企業(yè)之一，目前已經(jīng)取得合肥長鑫、士蘭微、揚(yáng)杰科技、福順微電子、中芯國際等國內(nèi)企業(yè)的供貨訂單。
據(jù)晶瑞電材介紹，子公司瑞紅 ( 蘇州 ) 電子化學(xué)品股份有限公司憑借強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力和突出的產(chǎn)品優(yōu)勢，取得了下游客戶的認(rèn)證，開拓并維系了一大批國內(nèi)外優(yōu)質(zhì)客戶，構(gòu)建了優(yōu)質(zhì)的業(yè)務(wù)平臺并成功進(jìn)入優(yōu)秀客戶的供應(yīng)鏈。
作為芯片產(chǎn)業(yè)鏈上的重要一環(huán)——光刻膠，是由樹脂，感光劑，溶劑，光引發(fā)劑等組成的混合液態(tài)感光材料。原理是利用光化學(xué)反應(yīng)，經(jīng)光刻工藝將所需要的微細(xì)圖形轉(zhuǎn)移到加工襯底上，來達(dá)到在晶圓上刻蝕出需的圖形的目的。如果把光刻機(jī)理解為一臺膠片相機(jī)，它要使用的膠片就是光刻膠。
按照曝光波長不同，光刻膠可以分為g線，i線、KrF、ArF、以及EUV幾種，其中KrF、EUV和ArF光刻膠主要被應(yīng)用于集成電路，屬于高端光刻膠。由于在芯片生產(chǎn)中是不可或缺的重要原料，光刻膠也因此被稱為“半導(dǎo)體材料皇冠上的明珠”。
有投資者在投資者互動平臺提問：請問公司KrF（248nm深紫外）光刻膠產(chǎn)品分辨率是否達(dá)到了0.25～0.13μm的技術(shù)要求？并且通過部分重要客戶測試?
晶瑞電材3月13日在投資者互動平臺表示，公司子公司瑞紅（蘇州）電子化學(xué)品股份有限公司的KrF光刻膠產(chǎn)品分辨率達(dá)到了 0.25～0.13μm 的技術(shù)要求，已通過部分重要客戶測試，KrF高端光刻膠部分品種已量產(chǎn)。
