【康沃真空網(wǎng)】擴(kuò)散泵的一個主要特點是皮實耐用，如果使用保養(yǎng)得當(dāng)，可以正常工作很多年。在安捷倫舉辦的“尋找最長壽安捷倫擴(kuò)散泵”活動中，發(fā)現(xiàn)了好多裝機(jī)20年以上還在正常工作的的安捷倫（原Varian）擴(kuò)散泵。結(jié)合安捷倫技術(shù)支持團(tuán)隊眾多工程師的多年經(jīng)驗，本文總結(jié)了安捷倫擴(kuò)散泵使用時的一些比較容易忽略的注意事項，使用其它品牌擴(kuò)散泵的用戶也可以參考。
一定要使用原廠泵油
安捷倫擴(kuò)散泵的噴塔、加熱功率等是針對特種油品設(shè)計的，其抽速、極限真空等性能參數(shù)也都是在使用安捷倫官方油品時測試的，使用非安捷倫官方油品會影響我們對擴(kuò)散泵的質(zhì)量保證，也不利于安捷倫工程師進(jìn)行故障排查，因為不同品牌或批次的第三方泵油組分可能會有較大的差異，可能會帶來抽速/極限真空不夠、結(jié)晶、焦化、返油等問題，嚴(yán)重時甚至?xí)诓划?dāng)操作時引發(fā)爆炸等危險。
注意觀察油位和油的顏色
冷態(tài)/熱態(tài)的時候分別應(yīng)該接近但不要超過Cold Full/Hot Full的標(biāo)線；油的顏色應(yīng)該是無色或透明度很高的紅棕色，當(dāng)油的顏色變深、發(fā)黑時，要及時更換。
如果工藝中會產(chǎn)生大量的粉塵，特別是放出的泵油中能觀察到大量顆粒物時，擴(kuò)散泵的油池內(nèi)很可能會有大量的沉積物，這些沉積物將會對泵的正常工作產(chǎn)生嚴(yán)重影響，請在每次換油時清除這些沉積物并對擴(kuò)散泵進(jìn)行徹底的清洗。
溫度保護(hù)開關(guān)一定要接入控制系統(tǒng)
安捷倫大部分型號的擴(kuò)散泵都在泵體上設(shè)置了溫度保護(hù)開關(guān)，當(dāng)由于冷卻不足、油位不夠等原因造成擴(kuò)散泵溫度異常時，可以及時地給出信號。在設(shè)計控制系統(tǒng)時，一定要把溫度保護(hù)開關(guān)（常閉的干接點）接入系統(tǒng)，并與擴(kuò)散泵加熱器的供電進(jìn)行互鎖，以保護(hù)擴(kuò)散泵。
加熱器不要頻繁通斷電
擴(kuò)散泵是靠泵油持續(xù)大量的汽化所產(chǎn)生的油蒸氣來工作的，泵油的汽化量和噴射動能，跟加熱器功率成正比。擴(kuò)散泵正常工作時的油溫是油自身的物理特性（沸點）決定的， 泵應(yīng)該持續(xù)工作在沸點溫度下，若停止泵油的加熱意味著擴(kuò)散泵將很快失去氣載能力，造成抽速下降和返油量增大；因此，切勿通過加熱器頻繁通斷電來控制油溫。另外，頻繁通斷電將使加熱器忽冷忽熱，會嚴(yán)重影響其壽命。
注意監(jiān)控加熱器的狀態(tài)
當(dāng)有某根加熱器燒壞時，可能會出現(xiàn)抽速、真空度下降，返油等問題，需要注意監(jiān)控擴(kuò)散泵加熱器的工作狀態(tài)（電流/功率），以便及時發(fā)現(xiàn)異常。
更換加熱器時，務(wù)必使用安捷倫原廠相同功率和額定電壓的加熱器。安裝加熱器時，加熱器與泵底板必須緊密貼合，如果兩者之間產(chǎn)生間隙，會造成加熱器導(dǎo)熱不良，局部溫度過高，嚴(yán)重影響加熱器的壽命。有些型號的擴(kuò)散泵加熱器設(shè)計了一次性的彈性壓板（Crush plate），它在壓緊時會產(chǎn)生永久變形并與加熱器緊密貼合，使加熱器的溫度更均勻壽命更久，這些型號的擴(kuò)散泵在更換加熱器時，壓板也要同時更換。
冷卻水，流量比壓力更重要
大型擴(kuò)散泵的泵壁一般采用冷卻水來進(jìn)行冷卻，許多客戶會監(jiān)控冷卻水的進(jìn)水壓力，然而，當(dāng)冷卻盤管發(fā)生堵塞或部分堵塞時，即使進(jìn)水壓力不發(fā)生變化，冷卻效果也會受到影響，而只要保證冷卻水的流量，冷卻水壓力的變化對冷卻效果的影響不大；因此，監(jiān)測冷卻水的流量比監(jiān)測其壓力更重要。另外，冷卻水的連接方式，與某些設(shè)備的下進(jìn)上出不同，擴(kuò)散泵的冷卻水是進(jìn)氣口處進(jìn)，排氣口處出，一定要按照說明書上的圖示來接。
減少返油，以下幾點也很關(guān)鍵
使用安捷倫擴(kuò)散泵 擴(kuò)散泵工作的壓力越高，返油越嚴(yán)重。安捷倫擴(kuò)散泵在剛剛開啟高閥時（幾帕到零點零幾帕）的抽速較大，會大幅減少該壓力段的抽氣時間，從而減少總返油量。
切勿讓擴(kuò)散泵處理超過其最大排氣量的氣載 每個擴(kuò)散泵都有一個最大氣載的參數(shù)，擴(kuò)散泵工作時處理的總氣載不可以超過該數(shù)值，否則將出現(xiàn)嚴(yán)重的返油。
高閥開啟壓力有講究 在高閥開啟的瞬間，原來由粗抽泵處理的氣載將會切換至擴(kuò)散泵處理，假設(shè)高閥在系統(tǒng)氣載等于擴(kuò)散泵最大氣載時開啟，通過公式Q=P*S就可以計算出開啟壓力；可以看出，使用的粗抽泵抽速越大，越需要在更低的壓力開啟擴(kuò)散泵。
排氣閥門間歇關(guān)閉要不得當(dāng)前級泵切換至腔體粗抽，或者系統(tǒng)處于待機(jī)狀態(tài)時，不要直接關(guān)閉擴(kuò)散泵排氣口的閥門，最好使用維持泵持續(xù)對擴(kuò)散泵排氣口進(jìn)行抽氣，保持其壓力低于擴(kuò)散泵可承受的最大排氣壓力（一般為幾十帕）。
增配加強(qiáng)型的冷帽 當(dāng)需要更低的返油率時，可以增配加強(qiáng)型的冷帽。安捷倫提供可內(nèi)置于擴(kuò)散泵的加強(qiáng)型冷帽，可以使返油率減少90%以上，并且不增加泵的高度。
