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康沃真空網(wǎng)】向排氣的鼓風(fēng)機(jī)可以同
旋片泵串連使用,以在中等
真空下得到比單獨(dú)使用旋片泵時有更大抽速和更低的極限壓強(qiáng)。羅茨
真空泵,或羅茨鼓風(fēng)機(jī),由裝在兩根平行轉(zhuǎn)軸上的一對繭形轉(zhuǎn)子構(gòu)成。轉(zhuǎn)子自身之間和轉(zhuǎn)子同泵殼之間的游隙典型的約為0.2mm。兩個轉(zhuǎn)子以3000rpm至3500rpm的轉(zhuǎn)速反向同步旋轉(zhuǎn)。由于轉(zhuǎn)子同泵殼之間的游隙不用油
密封,所以這樣的轉(zhuǎn)速是可行的。
羅茨真空泵的壓縮比,或泵的進(jìn)氣口和出氣口壓強(qiáng)之比與壓強(qiáng)有關(guān),通常其最大值100Pa接近。在較高的壓強(qiáng)下,泵的壓縮比較小,這是由子游隙中的流導(dǎo)是隨壓強(qiáng)的升高而增加的。在較低的壓強(qiáng)下,從理論上講,壓縮比應(yīng)保持不變,但實(shí)際上卻是下降的,出氣和轉(zhuǎn)子表面的粗糙度使得低壓強(qiáng)下的壓縮比有所損失。每當(dāng)轉(zhuǎn)子朝向高壓強(qiáng)側(cè)時,轉(zhuǎn)子表面就會吸附氣體,而當(dāng)轉(zhuǎn)子面向低壓強(qiáng)側(cè)時就釋放出已吸附氣體中的一部分。其最大壓縮比為44。大J泵的壓縮比要比小型泵的高一些,因?yàn)榇笮捅玫挠蜗端伎臻g與泵容積之比較小。象氮那樣的輕的氣體的壓縮比要比對空氣的壓縮比小15-20%。壓縮比是個靜態(tài)量,是在流量為零的條件下側(cè)得的。測量時,泵的進(jìn)氣口是被封住的并接上一個壓強(qiáng)規(guī),排氣口與一合粗抽泵相接,并對整個系統(tǒng)進(jìn)行抽氣。將氣體放入羅茨真空泵與旋片泵連接的前級管路內(nèi),在羅茨真空泵排氣口處 側(cè)量壓強(qiáng)P(前級壓強(qiáng)),在進(jìn)氣口處測呈壓強(qiáng)P1。壓縮比由P/P1得出。
在高壓強(qiáng)下用羅茨真空泵排氣時會產(chǎn)生可觀的熱量,它會引起轉(zhuǎn)子膨脹,并可能損壞泵。為避免過熱,規(guī)定了羅茨真空泵進(jìn)氣口和排氣口之間的最大壓差。最大壓差一般為1000Pa,但短時間內(nèi)超過此值不致造成泵的損壞。為避免發(fā)熱,羅茨真空泵按壓縮泵或傳輸泵方式連接。
在較常見的壓縮排氣的方式中,羅茨真空泵與旋片泵串聯(lián)使用,旋片泵的額定抽速比羅茨真空泵抽速低5至10倍。當(dāng)從大氣壓開始抽氣時,應(yīng)打開繞過羅茨真空泵的旁路管道或者讓羅茨真空泵空轉(zhuǎn)。此時全部抽氣作用由機(jī)械泵承當(dāng),直到前級壓強(qiáng)低于制造廠推薦的壓差時,再啟動羅茨真空泵并關(guān)閉旁路閥門。某些羅茨真空泵的泵體上就設(shè)有這種旁路特性。