【康沃真空網(wǎng)】干式螺桿真空泵、干泵、磁力泵、爪泵現(xiàn)階段運(yùn)用愈來愈普遍，尤其是在半導(dǎo)體材料、化工廠等一些工作狀況將會較為極端的運(yùn)用制造行業(yè)里。在干式螺桿真空泵運(yùn)用中避免泵內(nèi)出現(xiàn)細(xì)顆粒物的方式：
清理、經(jīng)久耐用、低噪這些全是干式真空泵的好用標(biāo)識。但在具體的干式真空泵運(yùn)用中，螺桿真空泵也分觸碰型和非觸碰型。因而在解決一些含細(xì)顆粒物汽體全過程中，并并不一定的干式真空泵都如螺桿真空泵、羅茨真空泵等非觸碰型泵種一樣對顆粒物汽體有優(yōu)良耐受力，只是必須根據(jù)過濾器設(shè)備來給予處理。除此之外即便是對顆粒物氣體有優(yōu)良耐受力的非接觸測量干式真空泵，大家為避免出現(xiàn)意外，也必須盡量減少物質(zhì)在機(jī)械泵泵腔內(nèi)因?yàn)榛瘜W(xué)變化或汽體干固變向產(chǎn)生細(xì)顆粒物。
1、適度提升泵溫?；瘜W(xué)物質(zhì)的升化、凝結(jié)是工作壓力與溫度的涵數(shù)，隨化學(xué)物質(zhì)不一樣都有轉(zhuǎn)變。因而提升泵內(nèi)溫度能夠防止一些物質(zhì)在泵內(nèi)縮小全過程中產(chǎn)生氣固變向而產(chǎn)生細(xì)顆粒物。如Al在離子注入全過程中生產(chǎn)制造的氯化鋁，在相匹配工作壓力下，其在80℃便會剛開始汽化，因而在將泵內(nèi)溫度維持在80℃就可合理防止氯化鋁的干固堆積。
2、減少會反映汽體的濃度值。單位時間內(nèi)汽體反映轉(zhuǎn)化成顆粒物總數(shù)與汽體濃度值有關(guān)，因此在干式真空泵提取這類汽體的加工工藝中能夠根據(jù)充進(jìn)稀有氣體，降低反映汽體濃度值來減少細(xì)顆粒物的產(chǎn)生。這一方式也會用以泵內(nèi)溫度制冷，避免物質(zhì)溶解、匯聚產(chǎn)生腐蝕化學(xué)物質(zhì)等，還可以避免物質(zhì)做到起火極限等將會，如CVD加工工藝中將會的發(fā)生爆炸。
3、提升抽真空安全通道中的氣旋速率。為避免處在飄浮情況的固態(tài)細(xì)顆粒物堆積，使汽體的流動性速率超過細(xì)顆粒物堆積的臨界值速率，就可確保細(xì)顆粒物隨氣流輸送排出來，避免堆積。實(shí)際的方式與第二點(diǎn)一樣，不在危害機(jī)械泵的極限工作壓力的前提條件下，便是充進(jìn)適當(dāng)汽體。
