【康沃真空網】我國目前已成為了OLED面板生產大國，占據全球近一半的市場份額。但我國在OLED生產設備真空蒸鍍機技術發(fā)展上一直較為落后，不得不受制于日韓。值得欣慰的是我國一直在關鍵裝備國產化的道路上不斷努力，功夫不負有心人，我國最近在真空蒸鍍機關鍵技術上已取得重大突破，擺脫國外技術依賴指日可待！
真空蒸鍍機，OLED面板制程的“心臟”。對于我們來說，真空鍍膜機可能比較陌生，甚至比光刻機還要陌生，但目前我們所使用的移動設備的屏幕，幾乎都是由它制造出來的。以手機為例，目前手機屏幕大部分都為AMOLED，但由于蒸鍍機設備費用昂貴，所以在手機的成本當中，芯片并不是最貴的，最貴的是屏幕。當我們的手機屏幕摔壞時，換屏幕的費用相信大家是深有體會的。
真空蒸鍍機原理
真空蒸鍍機的原理就如字面上的意思一樣，為真空鍍膜。意思就是在真空中通過電流加熱、電子束轟擊加熱和激光加熱等方法，蒸發(fā)鍍膜材料并使之氣化，再使氣化后的分子碰撞基片表面而凝結，最后形成薄膜的過程。
而我國在這之前并沒有真空蒸鍍機，主要向日韓方面采購，而世界上性能最優(yōu)的生產廠家為CANON TOKKI公司。該公司的真空蒸鍍機性能有多優(yōu)秀呢？它能把有機發(fā)光材料蒸鍍到基板上的誤差控制在5微米內（1微米相當于頭發(fā)直徑的1％），目前世界上沒有其他公司的蒸鍍機能達到這個精準度。當然價格也是天價，一臺設備超過1億美元，基本上和光刻機的價格持平了。關鍵是有錢還不一定能買到，該公司一年量產不到10臺，大部分還主要供給三星，而我國京東方當年花費大力氣買到一臺TOKKI的設備才奠定了其在我國OLED生產領域的地位。
所以擁有了高性能的真空蒸鍍機才算是擁有OLED面板生產領域的入場券。但真空蒸鍍機也并不是那么好造的。
真空蒸鍍機可以說是一個龐然大物，其真空生產線有100米長，需要將屏幕面板在廠區(qū)間頻繁移動，所以說設備的可靠性和精度是重中之重。而OLED屏良品率的關鍵也在于蒸鍍設備的準確度。所以說這么大型的設備還要控制到5微米的精度，其制造難度可想而知。
TOKKI公司產品
即使這樣，我國企業(yè)也不畏艱難，成功突破了國外技術壁壘，研發(fā)出了自己的國產真空鍍膜機。
去年10月份我國首條OLED蒸鍍量產線成功點亮，這是國內首條自主設計的OLED照明G2.5代量產線，并成功點亮多種顏色的OLED照明面板，該量產線的成功是國產OLED裝備關鍵技術的重大突破。
除了這些還有合肥的兩個廠家已宣布成功研發(fā)真空蒸鍍機，打破國外高端蒸鍍機的壟斷，研制出了性價比高的OLED真空蒸鍍機，目前已經接到了國內面板企業(yè)的訂單，預計今年下半年就可以下線出貨。國有企業(yè)方面也成功研發(fā)出了真空蒸鍍機，中山凱旋真空科技的設備搭載精密對位系統(tǒng)，對位精度甚至可達到1um，該設備的精密等級在行業(yè)內都算非常先進的，基本可以和日韓同類機型相媲美。
從企業(yè)密集宣布真空鍍膜機技術的突破，我們看到了國內該技術的蓬勃發(fā)展，雖然國產設備在精度和成熟度方面還不如日本企業(yè)，但目前我國已經取得了從無到有的重大突破，相信隨著我國OLED的發(fā)展，我國的真空蒸鍍機將會越來越先進和成熟，同時也期待我國生產的真空蒸鍍機未來能走向世界！
