真空系統(tǒng)在抽真空過(guò)程中,要實(shí)現(xiàn)各種機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng),就需要通過(guò)運(yùn)動(dòng)傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)傳遞各種運(yùn)動(dòng)。運(yùn)動(dòng)傳導(dǎo)既要保證能向真空系統(tǒng)內(nèi)部傳遞運(yùn)動(dòng),同時(shí)又要保證真空密封性。那運(yùn)動(dòng)傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)形式又有哪些呢?
真空系統(tǒng)中,z*基本的運(yùn)動(dòng)傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)形式有3大類:
1、傳動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng);2、傳動(dòng)軸的往復(fù)直線運(yùn)動(dòng);3、傳動(dòng)軸的擺動(dòng)。
在這幾種運(yùn)動(dòng)傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上,根據(jù)其密封方式,然后可以分為:真空橡膠密封可動(dòng)傳導(dǎo);金屬波紋管密封可動(dòng)傳導(dǎo);液態(tài)金屬密封可動(dòng)傳導(dǎo);間隙密封傳導(dǎo);磁力傳動(dòng)傳導(dǎo);磁流體密封可動(dòng)傳導(dǎo);橡膠隔膜密封可動(dòng)傳導(dǎo)。
因?yàn)橐缺WC運(yùn)動(dòng)傳遞,同時(shí)實(shí)現(xiàn)真空密封性,因此在相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)中需要注意選擇合適的密封方式,也就是動(dòng)密封的選擇。