真空泵廣泛應用于醫(yī)療醫(yī)藥、半導體、機械化工、低溫設備、電子、冶金、石油礦山等領(lǐng)域，其相關(guān)技術(shù)也得到了飛躍發(fā)展。在真空泵應用過程中，因生產(chǎn)工藝的不同真空泵會受到不同程度的腐蝕，若防護措施不當，常會因真空泵腐蝕而造成停產(chǎn)。因此，真空泵防腐是目前生產(chǎn)中延長真空泵使用壽命迫切需要解決的實際問題。
2007年開始，q*真空泵相關(guān)專利申請數(shù)量開始加快增長，中國、日本是q*真空泵防腐相關(guān)專利的主要受理國家，但是國內(nèi)專利權(quán)未形成明顯的技術(shù)競爭優(yōu)勢，且專利保護區(qū)域較局限，在國外申請了保護的卻寥寥無幾。
目前國內(nèi)真空泵防腐技術(shù)主要針對的是羅茨真空泵、水環(huán)真空泵、蒸汽真空泵、液環(huán)真空泵、隔膜真空泵、渦輪分子泵等，采用的防腐技術(shù)主要包括三種：
一、通過在真空泵表面涂覆一層防腐蝕涂層，如三氟氯乙烯防腐層、特氟龍涂層、耐腐蝕的氧化層或氮化層、耐腐蝕耐候油漆等；
二、防腐材料的改進，常用的涂層材料有不銹鋼、錫青銅、硬質(zhì)合金等金屬材料，天然橡膠、磷片、人工合成橡膠、陶瓷、塑料等非金屬材料，精密陶瓷、有機高分子或者耐溫耐腐耐磨高分子材料等新型材料，其中高分子材料有氟塑料、聚乙烯、聚氯乙烯等；
三、對泵的結(jié)構(gòu)改造，如泵體上部安裝氣室，安裝上置式耐腐蝕氣水分離器。
干式螺桿真空泵雖然國內(nèi)企業(yè)投入較少，但因其可應用于純凈的真空工藝過程，真空度高，適應惡劣工況，可抽取凝性、含顆粒物氣體，且易做防腐處理，浙江珂勒曦動力設備有限公司在螺桿真空泵領(lǐng)域傾入了大量人力物力，其核心螺桿轉(zhuǎn)子技術(shù)不僅讓單級真空泵突破了0.1帕極限真空，防腐技術(shù)上多層鍍鎳和納米技術(shù)，可以讓真空泵輕松應對鹽酸等高腐蝕介質(zhì)環(huán)境，走在了世界領(lǐng)先行列。
