泵的油。z*好使用汽油把真空室壁全部擦一遍再用酒精擦一遍。油一定要清干凈是z*關(guān)鍵的,如果室內(nèi)還有油的存在,就會出現(xiàn)鍍白膜,膜層質(zhì)量很不好等現(xiàn)象,并不是因?yàn)殡婂冊O(shè)備的損壞,而是因?yàn)檎婵帐矣杏汀?/span>
擴(kuò)散泵經(jīng)常返油可能是以下問題:
1、冷卻水路不通暢或水壓不夠,導(dǎo)致冷卻能力下降,擴(kuò)散泵上半部分變熱,油蒸汽不能良好液化。解決辦法將擴(kuò)散泵進(jìn)水管接以4mpa的氣源,吹出水垢,接出水管同樣以4mpa吹。若水垢結(jié)的很多并且牢固,可通入稀鹽酸?;蛘吒鼡Q擴(kuò)散泵。
2、加熱溫度過高,由于擴(kuò)散泵加熱器功率與額定功率不符,過高,造成蒸汽量大,可造成返油,更換電爐絲可解決。
3、加油量過高,加油量高容易導(dǎo)致蒸汽量循環(huán)緩慢,向下級壓縮時(shí)滯留,造成返油,根據(jù)廠家提供信息進(jìn)行加油量的控制可避免。
4、油氧化,擴(kuò)散泵油氧化后,粘稠度和蒸汽流都受到影響,達(dá)不到噴射速度,自然就返到真空室內(nèi)。可講擴(kuò)散泵拆下,將泵心取出,用120#汽油進(jìn)行清洗,然后打磨,將結(jié)碳和黑色氧化層打磨掉,再次用120#汽油清洗、晾干,然后安裝,倒入擴(kuò)散泵油或硅油,加熱幾次以后才可以投入工作。防止污染工件。
5、若擴(kuò)散泵服役時(shí)間超過8-10年,或在惡劣的環(huán)境下使用,可考慮更換。提高工作效率及維護(hù)成本。