真空系統(tǒng)或真空容器的泄漏難以避免。因此為保證系統(tǒng)穩(wěn)定，保證真空系統(tǒng)或真空容器的泄漏要在一定的允許范圍內(nèi)，就要對其進行檢漏。今天小編就介紹下檢查真空系統(tǒng)或真空容器泄漏情況的3大檢漏法。
第一，壓力檢漏法
壓力檢漏法是指將被檢漏的真空系統(tǒng)或真空容器充入具有一定壓力的示漏物質(zhì)，如水、空氣等，一旦被檢空間存在漏隙，示漏物質(zhì)就會從漏隙中漏出。這樣通過一定的方法或儀器發(fā)現(xiàn)從漏隙中漏出的示漏物質(zhì)，從而發(fā)現(xiàn)漏隙所在以及漏隙的泄漏量情況。
第二，真空檢漏法
真空檢漏法與壓力檢漏法相反，是將被檢的真空系統(tǒng)或真空容器與檢漏設(shè)備的敏感元件抽成真空狀態(tài)，然后將示漏物質(zhì)依次施加在被檢系統(tǒng)或容器的外面可疑部位。如果被檢的真空系統(tǒng)或真空容器存在漏隙，示漏物質(zhì)會通過漏隙進入到真空系統(tǒng)或真空容器中，并被檢漏設(shè)備的敏感元件檢測到、判斷出漏隙位置與大小等情況。
第三，背壓檢漏法
背壓檢漏法是壓力檢漏與真空檢漏相結(jié)合的一種方法，多用于封離后的電子器件、半導(dǎo)體器件等密封件的無損檢漏。一般包括充壓、凈化、檢漏三個步驟：先是被檢設(shè)備置于高壓示漏氣體環(huán)境中，隨著浸泡時間的增長及充壓的增大，示漏氣體進入被檢設(shè)備；然后利用干燥氮氣或靜置等方法凈化吸附在被檢設(shè)備外表面的示漏氣體（凈化時間的長短會影響到進入被檢設(shè)備內(nèi)的示漏氣體的分壓）；z*后將被檢設(shè)備放入裝有檢測儀的真空環(huán)境中，利用壓差，檢測漏隙的存在與大小。
這三種檢漏方法都是大的類型方式，每一種檢漏方式又可分為若干小類的檢漏方法，對應(yīng)不同的設(shè)備與可檢漏率。
