隨著社會科技的發(fā)展，越來越多的行業(yè)，對清潔真空、環(huán)保等的需求嚴格，要求避免返油漏油的污染，因此無油真空泵得到了快速地發(fā)展。因為起步較晚，很多企業(yè)用戶對無油真空泵的印象僅僅停留在爪式真空泵、螺桿真空泵少數(shù)幾類上。而事實上，無油真空泵涉及的種類可不止這些。
各種無油真空泵
說起無油真空泵，s*先提到的便是爪式真空泵。它是針對電子半導體工業(yè)而研制開發(fā)的干式真空泵，適應清潔真空需求，并且具有自行開閉的閥門效果，具備較高的效率。
其次就是螺桿真空泵。螺桿真空泵與爪式真空泵一樣都是非接觸式的無油真空泵，泵腔內不含油、水等物質，同時轉子間存在間隙，因此對顆粒物、可凝性氣體具有一定的耐受性。同時對比爪式真空泵，因為不具備類似閥門的結構，效率上有所欠缺，但其氣道通順、轉子結構簡單，適應性更好，因此兩者相比各有優(yōu)勢。
渦旋式真空泵的研制生產(chǎn)主要集中與美國、日本以及英國，因此國內很多企業(yè)都不了解這種無油真空泵。它抽速較小，較多地應用與分析儀器、半導體芯片生產(chǎn)線、科研設備中，以及作為分子泵與小型低溫泵的前級泵出現(xiàn)。
羅茨真空泵。羅茨真空泵種類較多，分濕式、干式以及直排大氣型、普通型、多級羅茨等等，因此造成了一些用戶對它的誤解。應用于中高真空的機械增壓泵以及多級羅茨泵其實都是無油真空泵，且抽氣量大，應用廣泛。
無油旋片真空泵與無油活塞真空泵（往復泵）。雖然常見旋片真空泵與活塞真空泵，在泵腔內都是有油介質參與的，但它們也可以通過采用自潤滑材料實現(xiàn)無油運作，成為無油真空泵。另外往復泵里的隔膜真空泵，也有無油型的。
渦輪分子泵。它是一種原應用于超高真空的無油真空泵，隨著向高出口壓力、高流量方向發(fā)展，應用范圍逐漸向中高真空領域發(fā)展。
以上幾種就是目前常見的幾大無油真空泵種類。此外還有低溫泵、吸附泵等可以實現(xiàn)清潔無油真空環(huán)境的氣體捕集泵，但通常不會把它們歸入到無油真空泵里去，所以在此也不再作列舉了。
