1、根據設備的工藝要求,確定真空設備的總的z*大允許漏率,并依據這一總漏率確定各組成部件的z*大允許漏率。
2、根據設備的z*大允許漏率等指標,在設計階段就初步確定將要采用的檢漏方法,并將其作為指導調試 驗收的基本原則之一。
3、根據設備或部件的z*大允許漏率指標,決定設備的密封、連接方式和總體加工精度,以及何種動密封形式能夠滿足要求。如,法蘭采用金屬密封或橡膠密封。
4、容器結構強度設計時,考慮如果采用加壓法檢漏被檢件所應具有的耐壓能力和結構強度。
5、選擇零部件結構材料時,考慮是否使用了可能被工作介質和示漏氣體腐蝕而導致?lián)p壞的材料。
6、結構設計時,在容器或系統(tǒng)上要留有必要的檢漏儀器備用接口,以便在設備組裝、調試過程中檢漏使用。尤其是大型、復雜的管路系統(tǒng),通常需要采用分段檢漏方法,因此在管路上要設置分段隔離的閥門,并在每一隔離段上預留檢漏儀器接口。
7、零件結構設計時,盡量避免采用可能干擾檢漏工作的設計方案。例如在真空室內螺釘孔不能采用盲孔形式,因為安裝螺釘后螺孔內部剩余空間的氣體只能通過螺紋間隙逸出,形成虛漏。從而延長系統(tǒng)抽氣時間,干擾檢漏正常進行。如圖真空檢漏中不應出現的結構。
8、與此類似,結構設計中不允許存在連續(xù)雙面焊縫和多層密封圈結構,因為這會在中間形成“寄生積”內的氣體會形成虛漏;而當內、外雙側焊縫或密封圈同時泄漏時,“寄生容積”使示漏氣體穿越雙層焊縫的響應時間過長,無法正常檢漏。
9、焊接結構設計時,盡量減少總裝后無法檢漏的焊縫。