所謂真空熱處理是工件在10-1~10-2Pa真空介質(zhì)中進行加熱到所需要的溫度，然后在不同介質(zhì)中以不同冷速進行冷卻的熱處理方法。 那么，真空泵系統(tǒng)熱處理需要注意哪些問題呢？
1、真空泵處置鈦合金時不宜用氮氣作為冷卻氣體，由于鈦和氮在高溫下反響，構成金黃色的氮化鈦。
2、真空泵活動銜接局部全部采用O型橡膠圈密封銜接，此局部均通水冷卻。
3、真空泵工件在真空狀態(tài)下淬火，應運用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。
4、真空爐的頤養(yǎng)應在真空或充純氮狀態(tài)下，防止平常不用時吸氣吸潮。
5、國內(nèi)真空爐的壓升率應不大于1.33Pa/h ，國外某些企業(yè)的規(guī)范為0.67Pa/h
6、真空加熱以輻射為主，工件在爐內(nèi)應該堅持間距。
7、真空泵升溫過程中工件及爐內(nèi)資料會放氣，使真空度降落。
8、真空回火、真空退火、真空固溶處置及真空時效的加熱溫度普通與常規(guī)處置時加熱溫度相同。
9、真空回火爐應該具有快冷安裝。冷卻水的壓力應該大于0.2Mpa流量應可調(diào)。
10、冷卻氣體：鋼普通采用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金采用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金采用百分之99.995的氬氣。
11、真空泵放入工件后，普通先預抽至6.67Pa時方可升溫加熱。
真空熱處理被當代熱處理界稱為高效、節(jié)能和無污染的清潔熱處理。真空熱處理的零件具有無氧化，無脫碳、脫氣、脫脂，表面質(zhì)量好，變形小，綜合力學性能高，可靠性好（重復性好，壽命穩(wěn)定）等一系列優(yōu)點。因此，真空熱處理受到國內(nèi)外廣泛的重視和普遍的應用。并把真空熱處理普及程度作為衡量一個國家熱處理技術水平的重要標志。真空熱處理技術是近四十年以來熱處理工藝發(fā)展的熱點，也是當今先進制造技術的重要領域。
