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靜態(tài)膨脹法真空標準裝置具有操作簡單、測量不確定度小的優(yōu)點，經(jīng)過百年的探索和研究，包括我國在內(nèi)的多個國家已將該標準作為真空計量基準器具。近年來，隨著我國在航天、高能物理、核聚變、表面科學、微電子器件等領域發(fā)展迅速，對超高真空精確校準提...
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