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離子源真空項(xiàng)目獲工業(yè)科技一等獎(jiǎng)
標(biāo)簽: 離子源
2014-12-16  閱讀

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由北京丹普表面技術(shù)有限公司與廣州有色金屬研究院聯(lián)合申報(bào)的“離子源復(fù)合真空鍍膜成套裝備、工藝及應(yīng)用”項(xiàng)目,榮獲2014年度中國有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。


離子源真空項(xiàng)目獲工業(yè)科技一等獎(jiǎng)

離子源真空項(xiàng)目獲工業(yè)科技一等獎(jiǎng)

2014年9月2日,中國有色金屬工業(yè)協(xié)會在廣州主持召開了科技成果鑒定會,對廣州有色金屬研究院、北京丹普表面技術(shù)有限公司聯(lián)合完成的“離子源復(fù)合真空鍍膜成套裝備、工藝及應(yīng)用”項(xiàng)目成果進(jìn)行鑒定。與會專家聽取了項(xiàng)目匯報(bào),審閱了鑒定資料,經(jīng)過質(zhì)詢和討論,形成如下鑒定意見:

1. 提供的鑒定資料齊全,數(shù)據(jù)詳實(shí),符合科技成果鑒定要求;

2. 通過研究陽極層氣體離子源、非平衡磁控濺射和陰極電弧等技術(shù),設(shè)計(jì)并開發(fā)出全自動(dòng)控制多功能離子鍍膜系列裝備。該裝備具有適用面寬、沉積面積大、工藝穩(wěn)定、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn);

3. 研究陽極層氣體離子源結(jié)合非平衡磁控濺射復(fù)合鍍膜技術(shù),制備出可精確控制層間界面、摻雜成分及微觀結(jié)構(gòu)的多層多相多尺度類金剛石復(fù)合膜。該薄膜具有優(yōu)異的綜合性能:硬度大于20GPa(z*高可達(dá)35.5GPa),厚度可調(diào)(z*高可達(dá)6um),膜基結(jié)合力大于50N(z*高可達(dá)100N),摩擦系數(shù)小于0.2(z*低可達(dá)0.05)。

4. 研制的成套裝備及工藝技術(shù)已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,經(jīng)國內(nèi)外用戶使用,反應(yīng)良好,產(chǎn)生了顯著的經(jīng)濟(jì)和社會效益。

綜上所述,該成果的裝備及工藝技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平。鑒定委員會一致同意該項(xiàng)目通過科技成果鑒定。