真空反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜
對(duì)于化合物的蒸發(fā)鍍，在鍍膜過(guò)程中由于高溫的作用下，大部分化合物都會(huì)產(chǎn)生分解反應(yīng)，當(dāng)沉積到工件表面后會(huì)重新發(fā)生反應(yīng)，但卻不能完全變回分解前的等價(jià)化合物，一般會(huì)產(chǎn)生低價(jià)化合物，如三氧化二鋁，被分解后再化合，很容易因?yàn)槿毖醵纬傻蛢r(jià)化合物，為了避免這樣的情況發(fā)生，一般會(huì)在鍍膜時(shí)另外通過(guò)氧氣來(lái)保證有足夠的氧。 所以要鍍制容易分解的化合物，可以通過(guò)真空反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)，鍍材選用低價(jià)的化合物或者金屬，在鍍膜時(shí)通入活性氣體，和鍍材蒸發(fā)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，由于鍍制高熔點(diǎn)化合物薄膜所需要的溫度特別高，而過(guò)高的溫度容易使化合物分解，所以反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜技術(shù)常常使用在高熔點(diǎn)化合物薄膜的制備上，如在硅材的蒸發(fā)中加入氧氣獲得二氧化硅，在硅材的蒸發(fā)中加入乙炔獲得碳化硅，在鋯材的蒸發(fā)中加入氮?dú)猥@得氮化鋯，在鋁材的蒸發(fā)中加入氬氣和氮?dú)猥@得氮化鋁，在鋁材的蒸發(fā)中加入氧氣獲得三氧化二鋁。
