激光束蒸發(fā)鍍膜
激光束蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是一種脈沖激光技術(shù)，經(jīng)過聚集后形成高密度激光射到鍍材上產(chǎn)生高溫使鍍材蒸發(fā)。激光束蒸發(fā)鍍膜裝置是把發(fā)射激光的激光器放在真空室外，激光束直接照射鍍材，不接觸坩堝，從而避免了使鍍材蒸氣受到污染而降低薄膜材料純度。對于激光束蒸發(fā)的原理，我們可以簡單的了解一下，以CO2激光器為例，當(dāng)激光器發(fā)射出高能量的激光后，經(jīng)過聚集透鏡和散焦透鏡，使激光集中成束，射進(jìn)真空室內(nèi)，為了調(diào)節(jié)激光束能準(zhǔn)確射到鍍材上，利用一個(gè)帶爐板的反射鏡，調(diào)節(jié)好角度，當(dāng)激光束照射到鍍材時(shí)，其功率密度已經(jīng)達(dá)到106W/CM2，使鍍材產(chǎn)生強(qiáng)烈的晶格振動，迅速升溫，所產(chǎn)生的高溫可以使任何高熔點(diǎn)的鍍材汽化蒸發(fā)。激光束蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是一種閃鍍蒸發(fā)，以瞬間的高溫蒸發(fā)鍍材，對于化合物和合金的鍍材都可以進(jìn)行蒸發(fā)，因?yàn)楦邷厥且凰查g產(chǎn)生后鍍材就蒸發(fā)了，避免了化合物因加熱而產(chǎn)生某些反應(yīng)而變質(zhì)，對于合金，不同熔點(diǎn)的金屬如果是慢慢加熱，低熔點(diǎn)的先蒸發(fā)，高熔點(diǎn)的后蒸發(fā)，如此就會產(chǎn)生分餾現(xiàn)象，但若是閃鍍蒸發(fā)就顯示不出時(shí)間差了。
