真空工藝對(duì)環(huán)境的要求
常規(guī)真空工藝對(duì)環(huán)境的要求
所謂常規(guī)真空工藝系指沒(méi)有特殊要求的真空工藝過(guò)程,這類(lèi)真空裝置(設(shè)備)對(duì)真空衛(wèi)生的要求:
(1)凡是處于真空中的真空設(shè)備零件,都要求無(wú)積存的污染源,表面無(wú)塵埃,無(wú)鐵屑、無(wú)銹蝕;
(2)真空設(shè)備的真空室表面要光滑、無(wú)松軟組織和氣孔、無(wú)內(nèi)焊縫等影響真空的缺陷;
(3)高真空設(shè)備中,真空室內(nèi)的運(yùn)動(dòng)部件不得用機(jī)油作潤(rùn)滑劑,要用飽和蒸氣壓低的
擴(kuò)散泵油、硅油作潤(rùn)滑劑;法蘭、觀察窗的
密封部件要涂以高真空油脂;
(4)真空設(shè)備一般應(yīng)在溫度為15~30℃,相對(duì)濕度不高于70%的清潔空氣流通的環(huán)境中工作,冷卻水進(jìn)水溫度不高于25 ℃。電真空工藝對(duì)環(huán)境的要求電真空結(jié)構(gòu)材料除具有良好的機(jī)械性能和加工性能外,還要滿足其他性能的要求,即容易除氣、低的飽和蒸氣壓、一定的化學(xué)穩(wěn)定性、一定的純度和清潔度、合適的輻射能力等。所以電真空工藝具有特殊性,對(duì)清潔處理要求是極為嚴(yán)格的,應(yīng)z*大限度清除或減少零件的污染。
真空鍍膜工藝對(duì)環(huán)境的要求 真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要,基片進(jìn)入鍍膜室前均應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的鍍前清潔處理,達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的?;砻嫖廴緛?lái)自零件在加工、傳輸、包裝過(guò)程所粘附的各種粉塵、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。這些污物基本上均可采用去油或化學(xué)清洗方法將其去掉。