真空裝置常見(jiàn)污染及其處理方法 低真空裝置的污染及其處理 低真空裝置如
真空輸送、真空浸漬、真空過(guò)濾、
真空干燥、真空脫氣(鋼水處理)等要求具有工作壓力高、排氣量大的低
真空泵抽氣機(jī)組,這類(lèi)低真空抽氣機(jī)組主泵常用
往復(fù)式真空泵、油封式真空泵、水蒸氣噴射泵、
水環(huán)泵、
羅茨泵等。使用的低真空抽氣機(jī)組還需根據(jù)被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊要求,配置必要的除塵器、干燥罐等部件?! ?br />
水蒸氣在壓縮過(guò)程中會(huì)凝結(jié)成水滴,并與泵混合形成懸浮液,不僅會(huì)使真空度下降,也能使泵腔與轉(zhuǎn)子生銹,破壞
密封面,使泵的極限真空度下降。為此,防止水蒸氣對(duì)機(jī)械泵的污染很重要。防止的措施有:
(1)選用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵;
(2)裝油分離器、離心式分離器或油水分離器,將混有水的機(jī)械泵油進(jìn)行處理,處理過(guò)的油再流入泵中使用;
(3)使用吸水性強(qiáng)的干燥劑;
(4)使用液氮冷阱,不僅能有效地吸附水蒸氣,同時(shí)還可以阻擋機(jī)械泵油向高真空室返流?! ?br />
油
擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)污染與防治 油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)是使用z*廣泛的真空系統(tǒng),其獲得真空度范圍為1.3×10
-3 ~1.3×10
-5 Pa。油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)構(gòu)成的各類(lèi)真空裝置,長(zhǎng)期使用后,常見(jiàn)的故障是真空度抽不上去,或真空度抽不到原來(lái)的極限真空水平。與真空室內(nèi)壁的油蒸氣污染、真空工藝過(guò)程各種污染物的污染有關(guān),防止的辦法是:
(1)定期清洗真空室;
(2)定期對(duì)油封
機(jī)械真空泵和油金屬擴(kuò)散泵進(jìn)行清洗。