一般術(shù)語
1.1標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件tandard ambient condition： 溫度為20℃，相對濕度為65%，大氣壓力為：101325Pa=1013.25mbar=760Torr。
1.2氣體的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)tandard reference conditio for gases：溫度為0℃，壓力為：101325Pa。
1.3壓力（壓強(qiáng)）reure：氣體分子從某一假想平面通過時(shí)，沿該平面的正法線方向的動量改變率，除以該平面面積或氣體分子作用于其容器壁表面上的力的法向分量，除以該表面面積。注：“壓力”這一術(shù)語只適用于氣體處于靜止?fàn)顟B(tài)的壓力或穩(wěn)定流動時(shí)的靜態(tài)壓力。
1.4帕斯卡Paascal：國際單位制壓力單位，1Pa=1N/m2。
1.5托Torrtorr：壓力單位，1Torr=1/760atm。
1.6標(biāo)準(zhǔn)大氣壓atmtandard atmohere：壓力單位，1atm=101325Pa。
1.7毫巴mbarmillibar：壓力單位，1mbar=102Pa。
1.8分壓力artial preure：混合氣體中某一組分的壓力。
1.9全壓力total preure：混合氣體中所有組分壓力的總和。
1.10真空vacuum：在指定空間內(nèi)，低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)。
1.11真空度degree of vacuum：表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓力值來表示。
1.12真空區(qū)域ranges of vacuum：真空區(qū)域大致劃分如下：真空區(qū)域壓力 Pa Torr低 真 空 105～102 760～1中 真 空 102～10-11～10-3高 真 空 10-1～10-5 10-3～10-7超高真空 〈10-5〈10-7
1.13氣體gas：不受分子間相互作用力的約束且能自由地占據(jù)任意空間的物質(zhì)。汪：在真空技術(shù)中，“氣體”一詞不嚴(yán)格地應(yīng)用于非可凝氣體和蒸汽。
1.14非可凝氣體on-condeable gas：在臨界溫度以上的氣體，即單純增加壓力不能使其液化的氣體。
1.15蒸汽vapor：在臨界溫度以下的氣體，即單純增加壓力能使其液化的氣體。
1.16飽和蒸汽壓saturation vapor preure：在給定溫度下，某種物質(zhì)的蒸汽與其凝聚相處于相平衡狀態(tài)下的該種物質(zhì)的蒸汽壓力。
1.17飽和度degree of saturation：蒸汽壓對其飽和蒸汽壓之比。
1.18飽和蒸汽saturated vapor：在給定溫度下，壓力等于其飽和蒸汽壓的蒸汽。
1.19未飽和蒸汽uaturated vapor：+給定溫度下，壓力小于其飽和蒸汽壓的蒸汽。
1.20分子數(shù)密度n，m-3umber deity of molecules：在某瞬時(shí)，氣體中某點(diǎn)周圍體積內(nèi)的分子數(shù)，除以該體積。
1.21平均自由程ι、λ，mmean free path：一個(gè)分子與其它氣體分子每連續(xù)二次碰撞走過的路程，叫自由程。相當(dāng)多的不同自由程的平均值，叫平均自由程。
1.22碰撞率ψ collision rate：在給定的時(shí)間間隔內(nèi)，一個(gè)分子（或其它規(guī)定粒子）相對于其它氣體分子（或其它規(guī)定粒子）運(yùn)動，受到的平均碰撞次數(shù)，除以該時(shí)間。這個(gè)平均碰撞次數(shù)是應(yīng)在足夠多的分子數(shù)和足夠長的時(shí)間間隔下取得。
1.23體積碰撞率χ volume collision rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi)，在圍繞規(guī)定一點(diǎn)的空間范圍內(nèi)氣體分子間的平均碰撞次數(shù)，除以該時(shí)間和該空間范圍體積。所取時(shí)間間隔和體積不應(yīng)太小。
1.24氣體量G quantity of gas：處于平衡狀態(tài)的理想氣體所占有的體積同其壓力的乘積。此值必須注明氣體溫度或換算成20℃時(shí)的數(shù)值。注：氣體量是指該量氣體所占體積內(nèi)氣體內(nèi)稟能量（或位能）的2/3。
1.25氣體的擴(kuò)散 diffusion of gas：氣體由于濃度梯度而在另一種介質(zhì)中的運(yùn)動。介質(zhì)可以是另一種氣體（這種情況下的擴(kuò)散稱之為互擴(kuò)散）或者是可凝聚物質(zhì)。
1.26擴(kuò)散系數(shù)Ddiffusion coefficient; diffusivity：通過單位面積的質(zhì)量流率的絕對值同該單位面積的法向濃度梯度之比。
1.27粘滯流 viscous flow：氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)小于導(dǎo)管z*小截面尺寸的流態(tài)。因此，流動取決于氣體的粘滯性，粘滯流可以是層流或滯流。
1.28粘滯系數(shù)ηviscous factor：在氣流速度梯度方向單位面積上的切向力與速度梯度之比。
1.29泊肖葉流oiseuille flow：流過圓截面長導(dǎo)管的層流粘滯流。
1.30中間流 intermediate flow：在層流和分子流之間狀態(tài)下氣體通過導(dǎo)管的流動。
1.31分子流molecular flow：氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面z*大尺寸的流態(tài)。
1.32克努曾數(shù)umber of knudsen：氣體分子的平均自由程與導(dǎo)管直徑之比。
1.33分子瀉流molecular effusio effusive flow：氣體流過薄壁小孔，其分子的平均自由程較小孔尺寸大得多的情況時(shí)的流動狀態(tài)。
1.34流逸trairation：由壓力差引起的氣體通過多孔物體的流動。
1.35熱流逸thermal trairation：在分子流狀態(tài)下，兩個(gè)連通容器由于溫度不同引起了氣體流動，當(dāng)氣體傳輸達(dá)到平衡時(shí)，兩個(gè)容器之間產(chǎn)生壓力梯度的現(xiàn)象。
1.36分子流率qN molecular flow rate; molecular flux：在給定時(shí)間間隔內(nèi)，從給定方向穿過表面的分子數(shù)與從相反方向穿過該表面那些分子數(shù)之差，除以該時(shí)間。
1.37分子流率密度 molecular flow rate deity; deity of molecular flux：分子流率除以表面面積。
1.38質(zhì)量流率qmma flow rare：在給定時(shí)間間隔內(nèi)通過某一截面的氣體質(zhì)量，除以該時(shí)間。
1.39流量qGthroughput of gas：在給定時(shí)間間隔內(nèi)通過某一截面的氣體量除以該時(shí)間。1.40體積流率qVvolume flow rate：在給定溫度、壓力和給定時(shí)間間隔通過某截面的氣體體積，除以該時(shí)間。
1.41摩爾流率qυmolar flow rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi)通過給定截面的氣體的摩爾數(shù)，除以該時(shí)間。
1.42麥克斯韋速度分布maxwellian velocity distribution：由麥克斯韋-波爾茲曼速度分布函數(shù)確定的一種速度分布。即氣體分子在一定溫度下處于平衡態(tài)和到器壁的距離大于分子平均自由程時(shí)的速度分布。
1.43傳輸幾率Pc tramiion probability：無規(guī)律地進(jìn)入導(dǎo)管入口的分子通過出口的幾率。
1.44分子流導(dǎo)CN,Umolecular conductance：氣體通過管的兩規(guī)定截面或孔流動的分子流導(dǎo)為：其分子流率與管的兩截面或孔的兩側(cè)的平均分子數(shù)密度差之比。
1.45流導(dǎo)C,Uconductance：在等溫條件下，氣體通過導(dǎo)管或孔流動時(shí)，其流量與導(dǎo)管的兩規(guī)定截面或孔的兩側(cè)的平均壓力差之比。
1.46固有流導(dǎo)Ci,Uiintriic conductance：在容器中麥克斯韋速度分布占優(yōu)勢的條件下，連接這樣兩個(gè)容器的導(dǎo)管（或小孔）的流導(dǎo)。在分子流條件下，它等于入口流導(dǎo)與傳輸幾率之積。
1.47流阻Wresistance：流導(dǎo)的倒數(shù)。
1.48吸附 sorption：固體或液體（吸附劑）對氣體或蒸汽（吸附質(zhì)）的捕集現(xiàn)象。
1.49表面吸附adsorption：氣體或蒸汽（吸附質(zhì)）存留在固體或液體（吸附劑）表面上的吸附現(xiàn)象。
1.50物理吸附physisorption：由于物理作用的吸附現(xiàn)象。
1.51化學(xué)吸附 chemisorption：由于化學(xué)作用的吸附現(xiàn)象。
1.52吸收aorption：氣體或蒸汽（吸附質(zhì)）擴(kuò)散進(jìn)入到固體或液體（吸附劑）內(nèi)部的現(xiàn)象。
1.53適應(yīng)系數(shù)α accommodation factor：入射到某一表面的粒子和該表面實(shí)際交換的平均能量與粒子在該表面上達(dá)到完全的熱平衡條件所應(yīng)當(dāng)交換的平均能量之比。
1.54入射率υ impingement rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi)，入射到表面的分子數(shù)，除以該時(shí)間和該表面面積。
1.55凝結(jié)率condeation rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi)凝結(jié)在某一表面積上的分子數(shù)（或物質(zhì)量或物質(zhì)質(zhì)量）除以該時(shí)間和該表面面積。
1.56粘著率 sticking rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi)表面上吸附的分子數(shù)，除以該時(shí)間和該表面面積。
1.57粘著幾率 sticking probability：粘著率與入射率之比。
1.58滯留時(shí)間τresidence time：分子在表面上以吸附狀態(tài)被約束的平均時(shí)間。
1.59遷移migration：分子在表面上的移動。
1.60解吸desorption：被材料吸附的氣體或蒸汽的釋放現(xiàn)象。釋放可以是自然的，也可用物理方法加速。
1.61去氣degaing：氣體從材料中人為的解吸。
1.62放氣outgaing：氣體從材料中自然的解吸。
1.63解吸或放氣或去氣速率qGUdesorption or outgaing or degaing rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi)，從材料中解吸（或放氣或去氣）的氣體流量（或分子流率），除以該時(shí)間和該表面面積。
1.64蒸發(fā)率evaporation rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi)從表面上蒸發(fā)的分子數(shù)（或物質(zhì)量或物質(zhì)質(zhì)量）除以該時(shí)間和該表面面積。
1.65滲透ermeation：氣體通過固體阻擋層的現(xiàn)象。該現(xiàn)象包括氣體通過固體的擴(kuò)散，也可以包括其它的表面現(xiàn)象。
1.66滲透率φermeability：在穩(wěn)定流動的條件下，氣體通過阻擋層（如器壁）的流量除以阻擋層兩側(cè)壓力函數(shù)的量，該函數(shù)形式取決于實(shí)際滲透所涉及的物理過程。
1.67滲透系數(shù)ermeability coefficient：滲透率與阻擋層厚度之積除以滲透表面積。
1.2氣體的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)tandard reference conditio for gases：溫度為0℃，壓力為：101325Pa。
1.3壓力（壓強(qiáng)）reure：氣體分子從某一假想平面通過時(shí)，沿該平面的正法線方向的動量改變率，除以該平面面積或氣體分子作用于其容器壁表面上的力的法向分量，除以該表面面積。注：“壓力”這一術(shù)語只適用于氣體處于靜止?fàn)顟B(tài)的壓力或穩(wěn)定流動時(shí)的靜態(tài)壓力。
1.4帕斯卡Paascal：國際單位制壓力單位，1Pa=1N/m2。
1.5托Torrtorr：壓力單位，1Torr=1/760atm。
1.6標(biāo)準(zhǔn)大氣壓atmtandard atmohere：壓力單位，1atm=101325Pa。
1.7毫巴mbarmillibar：壓力單位，1mbar=102Pa。
1.8分壓力artial preure：混合氣體中某一組分的壓力。
1.9全壓力total preure：混合氣體中所有組分壓力的總和。
1.10真空vacuum：在指定空間內(nèi)，低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)。
1.11真空度degree of vacuum：表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓力值來表示。
1.12真空區(qū)域ranges of vacuum：真空區(qū)域大致劃分如下：真空區(qū)域壓力 Pa Torr低 真 空 105～102 760～1中 真 空 102～10-11～10-3高 真 空 10-1～10-5 10-3～10-7超高真空 〈10-5〈10-7
1.13氣體gas：不受分子間相互作用力的約束且能自由地占據(jù)任意空間的物質(zhì)。汪：在真空技術(shù)中，“氣體”一詞不嚴(yán)格地應(yīng)用于非可凝氣體和蒸汽。
1.14非可凝氣體on-condeable gas：在臨界溫度以上的氣體，即單純增加壓力不能使其液化的氣體。
1.15蒸汽vapor：在臨界溫度以下的氣體，即單純增加壓力能使其液化的氣體。
1.16飽和蒸汽壓saturation vapor preure：在給定溫度下，某種物質(zhì)的蒸汽與其凝聚相處于相平衡狀態(tài)下的該種物質(zhì)的蒸汽壓力。
1.17飽和度degree of saturation：蒸汽壓對其飽和蒸汽壓之比。
1.18飽和蒸汽saturated vapor：在給定溫度下，壓力等于其飽和蒸汽壓的蒸汽。
1.19未飽和蒸汽uaturated vapor：+給定溫度下，壓力小于其飽和蒸汽壓的蒸汽。
1.20分子數(shù)密度n，m-3umber deity of molecules：在某瞬時(shí)，氣體中某點(diǎn)周圍體積內(nèi)的分子數(shù)，除以該體積。
1.21平均自由程ι、λ，mmean free path：一個(gè)分子與其它氣體分子每連續(xù)二次碰撞走過的路程，叫自由程。相當(dāng)多的不同自由程的平均值，叫平均自由程。
1.22碰撞率ψ collision rate：在給定的時(shí)間間隔內(nèi)，一個(gè)分子（或其它規(guī)定粒子）相對于其它氣體分子（或其它規(guī)定粒子）運(yùn)動，受到的平均碰撞次數(shù)，除以該時(shí)間。這個(gè)平均碰撞次數(shù)是應(yīng)在足夠多的分子數(shù)和足夠長的時(shí)間間隔下取得。
1.23體積碰撞率χ volume collision rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi)，在圍繞規(guī)定一點(diǎn)的空間范圍內(nèi)氣體分子間的平均碰撞次數(shù)，除以該時(shí)間和該空間范圍體積。所取時(shí)間間隔和體積不應(yīng)太小。
1.24氣體量G quantity of gas：處于平衡狀態(tài)的理想氣體所占有的體積同其壓力的乘積。此值必須注明氣體溫度或換算成20℃時(shí)的數(shù)值。注：氣體量是指該量氣體所占體積內(nèi)氣體內(nèi)稟能量（或位能）的2/3。
1.25氣體的擴(kuò)散 diffusion of gas：氣體由于濃度梯度而在另一種介質(zhì)中的運(yùn)動。介質(zhì)可以是另一種氣體（這種情況下的擴(kuò)散稱之為互擴(kuò)散）或者是可凝聚物質(zhì)。
1.26擴(kuò)散系數(shù)Ddiffusion coefficient; diffusivity：通過單位面積的質(zhì)量流率的絕對值同該單位面積的法向濃度梯度之比。
1.27粘滯流 viscous flow：氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)小于導(dǎo)管z*小截面尺寸的流態(tài)。因此，流動取決于氣體的粘滯性，粘滯流可以是層流或滯流。
1.28粘滯系數(shù)ηviscous factor：在氣流速度梯度方向單位面積上的切向力與速度梯度之比。
1.29泊肖葉流oiseuille flow：流過圓截面長導(dǎo)管的層流粘滯流。
1.30中間流 intermediate flow：在層流和分子流之間狀態(tài)下氣體通過導(dǎo)管的流動。
1.31分子流molecular flow：氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面z*大尺寸的流態(tài)。
1.32克努曾數(shù)umber of knudsen：氣體分子的平均自由程與導(dǎo)管直徑之比。
1.33分子瀉流molecular effusio effusive flow：氣體流過薄壁小孔，其分子的平均自由程較小孔尺寸大得多的情況時(shí)的流動狀態(tài)。
1.34流逸trairation：由壓力差引起的氣體通過多孔物體的流動。
1.35熱流逸thermal trairation：在分子流狀態(tài)下，兩個(gè)連通容器由于溫度不同引起了氣體流動，當(dāng)氣體傳輸達(dá)到平衡時(shí)，兩個(gè)容器之間產(chǎn)生壓力梯度的現(xiàn)象。
1.36分子流率qN molecular flow rate; molecular flux：在給定時(shí)間間隔內(nèi)，從給定方向穿過表面的分子數(shù)與從相反方向穿過該表面那些分子數(shù)之差，除以該時(shí)間。
1.37分子流率密度 molecular flow rate deity; deity of molecular flux：分子流率除以表面面積。
1.38質(zhì)量流率qmma flow rare：在給定時(shí)間間隔內(nèi)通過某一截面的氣體質(zhì)量，除以該時(shí)間。
1.39流量qGthroughput of gas：在給定時(shí)間間隔內(nèi)通過某一截面的氣體量除以該時(shí)間。1.40體積流率qVvolume flow rate：在給定溫度、壓力和給定時(shí)間間隔通過某截面的氣體體積，除以該時(shí)間。
1.41摩爾流率qυmolar flow rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi)通過給定截面的氣體的摩爾數(shù)，除以該時(shí)間。
1.42麥克斯韋速度分布maxwellian velocity distribution：由麥克斯韋-波爾茲曼速度分布函數(shù)確定的一種速度分布。即氣體分子在一定溫度下處于平衡態(tài)和到器壁的距離大于分子平均自由程時(shí)的速度分布。
1.43傳輸幾率Pc tramiion probability：無規(guī)律地進(jìn)入導(dǎo)管入口的分子通過出口的幾率。
1.44分子流導(dǎo)CN,Umolecular conductance：氣體通過管的兩規(guī)定截面或孔流動的分子流導(dǎo)為：其分子流率與管的兩截面或孔的兩側(cè)的平均分子數(shù)密度差之比。
1.45流導(dǎo)C,Uconductance：在等溫條件下，氣體通過導(dǎo)管或孔流動時(shí)，其流量與導(dǎo)管的兩規(guī)定截面或孔的兩側(cè)的平均壓力差之比。
1.46固有流導(dǎo)Ci,Uiintriic conductance：在容器中麥克斯韋速度分布占優(yōu)勢的條件下，連接這樣兩個(gè)容器的導(dǎo)管（或小孔）的流導(dǎo)。在分子流條件下，它等于入口流導(dǎo)與傳輸幾率之積。
1.47流阻Wresistance：流導(dǎo)的倒數(shù)。
1.48吸附 sorption：固體或液體（吸附劑）對氣體或蒸汽（吸附質(zhì)）的捕集現(xiàn)象。
1.49表面吸附adsorption：氣體或蒸汽（吸附質(zhì)）存留在固體或液體（吸附劑）表面上的吸附現(xiàn)象。
1.50物理吸附physisorption：由于物理作用的吸附現(xiàn)象。
1.51化學(xué)吸附 chemisorption：由于化學(xué)作用的吸附現(xiàn)象。
1.52吸收aorption：氣體或蒸汽（吸附質(zhì)）擴(kuò)散進(jìn)入到固體或液體（吸附劑）內(nèi)部的現(xiàn)象。
1.53適應(yīng)系數(shù)α accommodation factor：入射到某一表面的粒子和該表面實(shí)際交換的平均能量與粒子在該表面上達(dá)到完全的熱平衡條件所應(yīng)當(dāng)交換的平均能量之比。
1.54入射率υ impingement rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi)，入射到表面的分子數(shù)，除以該時(shí)間和該表面面積。
1.55凝結(jié)率condeation rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi)凝結(jié)在某一表面積上的分子數(shù)（或物質(zhì)量或物質(zhì)質(zhì)量）除以該時(shí)間和該表面面積。
1.56粘著率 sticking rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi)表面上吸附的分子數(shù)，除以該時(shí)間和該表面面積。
1.57粘著幾率 sticking probability：粘著率與入射率之比。
1.58滯留時(shí)間τresidence time：分子在表面上以吸附狀態(tài)被約束的平均時(shí)間。
1.59遷移migration：分子在表面上的移動。
1.60解吸desorption：被材料吸附的氣體或蒸汽的釋放現(xiàn)象。釋放可以是自然的，也可用物理方法加速。
1.61去氣degaing：氣體從材料中人為的解吸。
1.62放氣outgaing：氣體從材料中自然的解吸。
1.63解吸或放氣或去氣速率qGUdesorption or outgaing or degaing rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi)，從材料中解吸（或放氣或去氣）的氣體流量（或分子流率），除以該時(shí)間和該表面面積。
1.64蒸發(fā)率evaporation rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi)從表面上蒸發(fā)的分子數(shù)（或物質(zhì)量或物質(zhì)質(zhì)量）除以該時(shí)間和該表面面積。
1.65滲透ermeation：氣體通過固體阻擋層的現(xiàn)象。該現(xiàn)象包括氣體通過固體的擴(kuò)散，也可以包括其它的表面現(xiàn)象。
1.66滲透率φermeability：在穩(wěn)定流動的條件下，氣體通過阻擋層（如器壁）的流量除以阻擋層兩側(cè)壓力函數(shù)的量，該函數(shù)形式取決于實(shí)際滲透所涉及的物理過程。
1.67滲透系數(shù)ermeability coefficient：滲透率與阻擋層厚度之積除以滲透表面積。
