無(wú)油渦旋真空泵技術(shù)與應(yīng)用簡(jiǎn)介
摘要：上個(gè)世紀(jì)90年代初，世界上s*臺(tái)渦旋真空泵推向市場(chǎng)，渦旋技術(shù)開(kāi)始作為一種新型真空獲得技術(shù)在世界范圍內(nèi)被推廣應(yīng)用。
無(wú)油渦旋真空泵的渦旋盤(pán)就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)組成的一對(duì)渦旋盤(pán)付構(gòu)成了無(wú)油渦旋真空泵的基本抽氣單元。動(dòng)渦旋盤(pán)由偏心軸驅(qū)動(dòng)與靜渦旋盤(pán)做相對(duì)擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。與其他種類(lèi)的無(wú)油真空泵相比無(wú)油渦旋真空泵具有下述特點(diǎn)：
①.無(wú)油，無(wú)摩擦---非接觸，無(wú)磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；
②.抽氣量大---雙渦旋盤(pán)結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；
③.抽氣效率高---帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差?。淮髿馀c真空之間由0型圈密封，泄漏低；
④.非接觸，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動(dòng)小；⑤.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動(dòng)半徑小，運(yùn)行平穩(wěn)；
⑥.體積小，維修方便，維護(hù)費(fèi)用低；
⑦.采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。該泵的主要技術(shù)指標(biāo)為：抽速(l/s)：2.0, 4.4, 8.7 極限真空度(Pa)：1.0 使用壽命(h)：40000 大修間隔(h)：8000 冷卻介質(zhì)：空氣噪聲(dB)：60 電機(jī)功率(kW)：0.6 該泵主要應(yīng)用于下述領(lǐng)域：
①半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；
②科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器；
③機(jī)械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備；
④化學(xué)工業(yè)；
⑤醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備；
⑥包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。該泵能夠給用戶(hù)解決真空系統(tǒng)的污染與振動(dòng)等基礎(chǔ)、共性問(wèn)題，并且使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低。因此在國(guó)外市場(chǎng)擴(kuò)展迅速，僅日本一個(gè)公司產(chǎn)品在中國(guó)z*近3年間銷(xiāo)售額就增長(zhǎng)了10倍。是一項(xiàng)不容忽視的技術(shù)與產(chǎn)品。
本文總結(jié)了無(wú)油渦旋真空泵的技術(shù)發(fā)展與應(yīng)用，內(nèi)容包括從渦旋技術(shù)的發(fā)展到無(wú)油渦旋真空泵的工作原理、制造工藝、技術(shù)指標(biāo)、特點(diǎn)、基本用途和實(shí)際應(yīng)用方法；對(duì)無(wú)油渦旋真空泵技術(shù)有一個(gè)系統(tǒng)的介紹。
無(wú)油渦旋真空泵的渦旋盤(pán)就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)組成的一對(duì)渦旋盤(pán)付構(gòu)成了無(wú)油渦旋真空泵的基本抽氣單元。動(dòng)渦旋盤(pán)由偏心軸驅(qū)動(dòng)與靜渦旋盤(pán)做相對(duì)擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。與其他種類(lèi)的無(wú)油真空泵相比無(wú)油渦旋真空泵具有下述特點(diǎn)：
①.無(wú)油，無(wú)摩擦---非接觸，無(wú)磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；
②.抽氣量大---雙渦旋盤(pán)結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；
③.抽氣效率高---帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差?。淮髿馀c真空之間由0型圈密封，泄漏低；
④.非接觸，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動(dòng)小；⑤.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動(dòng)半徑小，運(yùn)行平穩(wěn)；
⑥.體積小，維修方便，維護(hù)費(fèi)用低；
⑦.采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。該泵的主要技術(shù)指標(biāo)為：抽速(l/s)：2.0, 4.4, 8.7 極限真空度(Pa)：1.0 使用壽命(h)：40000 大修間隔(h)：8000 冷卻介質(zhì)：空氣噪聲(dB)：60 電機(jī)功率(kW)：0.6 該泵主要應(yīng)用于下述領(lǐng)域：
①半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；
②科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器；
③機(jī)械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備；
④化學(xué)工業(yè)；
⑤醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備；
⑥包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。該泵能夠給用戶(hù)解決真空系統(tǒng)的污染與振動(dòng)等基礎(chǔ)、共性問(wèn)題，并且使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低。因此在國(guó)外市場(chǎng)擴(kuò)展迅速，僅日本一個(gè)公司產(chǎn)品在中國(guó)z*近3年間銷(xiāo)售額就增長(zhǎng)了10倍。是一項(xiàng)不容忽視的技術(shù)與產(chǎn)品。
本文總結(jié)了無(wú)油渦旋真空泵的技術(shù)發(fā)展與應(yīng)用，內(nèi)容包括從渦旋技術(shù)的發(fā)展到無(wú)油渦旋真空泵的工作原理、制造工藝、技術(shù)指標(biāo)、特點(diǎn)、基本用途和實(shí)際應(yīng)用方法；對(duì)無(wú)油渦旋真空泵技術(shù)有一個(gè)系統(tǒng)的介紹。
