擴散泵工作區(qū)域擴展的探索
油擴散泵的應用量大面廣，對各類氣體都能有效抽氣，還具有成本低、無振動噪音、使用及維護保養(yǎng)方便等優(yōu)點,但其工作區(qū)域，尤其是高壓強段抽氣范圍，卻受很大局限。問題的提出在于一些大放氣量的真空鍍膜設備如磁控濺射鍍膜機、卷繞式真空鍍膜機等，特別是后者，其工作真空常在lO-1Pa范圍，且有持續(xù)的大放氣量。因而在真空系統(tǒng)的真空泵選配上要求主抽氣泵在10-2～10-1Pa范圍內(nèi)要有較大的抽速，且極限真空要優(yōu)于lO-3Pa。
傳統(tǒng)的油擴散泵，一般在10-3～lO-2Pa一個半數(shù)量級范圍內(nèi)保持z*大值抽速，其抽速曲線的恒定滿抽速段普遍延伸至7×lO-2Pa左右(凸腔泵還要差一些)。如進氣口壓強超過臨界范圍，便會導致油蒸汽射流的破壞，抽速曲線開始急劇衰減。而油增壓泵雖能在l0-1～10Pa約二個半數(shù)量級內(nèi)具備有效的抽速，但lO-2Pa范圍抽速太差，更欠缺的是極限真空只在lO-2Pa水平。這就使得設計鍍膜機時在真空系統(tǒng)的真空泵選配上，為如何兼顧真空度和抽氣效率而頗費躊躇。
顯然,這一問題的解決不是擴散泵或油增壓泵所能單獨勝任的,只能設法如何兼顧其在真空度和抽氣量方面的各自優(yōu)勢.也正由于此,提出了在原有擴散泵的基礎上進行擴展其抽氣范圍的設想.其主要手段是以擴散泵抽氣特性為出發(fā)點,參照擴散泵和油增壓泵各自性能和結(jié)構(gòu)特點,增強其高壓強段抽速,擴展延伸抽氣曲線.如此改進的泵種我們稱其為擴散增壓泵.近年來我們研制出并大量用于鍍膜設備的大口徑擴增泵(KZ系列)有Ф600、Ф630、Ф800三種,在性能調(diào)試中獲得了較多的有益數(shù)據(jù),也積累了一些經(jīng)驗。
傳統(tǒng)的油擴散泵，一般在10-3～lO-2Pa一個半數(shù)量級范圍內(nèi)保持z*大值抽速，其抽速曲線的恒定滿抽速段普遍延伸至7×lO-2Pa左右(凸腔泵還要差一些)。如進氣口壓強超過臨界范圍，便會導致油蒸汽射流的破壞，抽速曲線開始急劇衰減。而油增壓泵雖能在l0-1～10Pa約二個半數(shù)量級內(nèi)具備有效的抽速，但lO-2Pa范圍抽速太差，更欠缺的是極限真空只在lO-2Pa水平。這就使得設計鍍膜機時在真空系統(tǒng)的真空泵選配上，為如何兼顧真空度和抽氣效率而頗費躊躇。
顯然,這一問題的解決不是擴散泵或油增壓泵所能單獨勝任的,只能設法如何兼顧其在真空度和抽氣量方面的各自優(yōu)勢.也正由于此,提出了在原有擴散泵的基礎上進行擴展其抽氣范圍的設想.其主要手段是以擴散泵抽氣特性為出發(fā)點,參照擴散泵和油增壓泵各自性能和結(jié)構(gòu)特點,增強其高壓強段抽速,擴展延伸抽氣曲線.如此改進的泵種我們稱其為擴散增壓泵.近年來我們研制出并大量用于鍍膜設備的大口徑擴增泵(KZ系列)有Ф600、Ф630、Ф800三種,在性能調(diào)試中獲得了較多的有益數(shù)據(jù),也積累了一些經(jīng)驗。
