我國(guó)真空設(shè)備行業(yè)不“真空”
近日，包括大亞真空株式會(huì)社、島津制作所在內(nèi)的日本真空工業(yè)會(huì)一行參觀訪問了北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司，雙方就進(jìn)一步合作事宜進(jìn)行了洽談，日方對(duì)我國(guó)巨大的微電子設(shè)備、真空設(shè)備市場(chǎng)表現(xiàn)出極大興趣。
據(jù)了解，日本真空工業(yè)會(huì)中除了一部分已經(jīng)在中國(guó)進(jìn)行合資外，大部分企業(yè)都有在中國(guó)投資合作生產(chǎn)、經(jīng)營(yíng)、委托加工的意向。真空行業(yè)作為我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的裝備行業(yè)之一，應(yīng)用十分廣泛，主要用于冶金、電工、石油化工、建材、汽車、航空航天、工具、造紙、包裝、食品、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、果蔬貯存、以及信息工程、生物工程、微電子等等領(lǐng)域。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，電子元器件、電路的尺寸越來(lái)越小，集成度愈來(lái)愈高，使真空技術(shù)與微電子技術(shù)關(guān)系更為密切，并成為一門不可缺少的技術(shù)。據(jù)報(bào)道，日本真空廠商的銷售額中2／3是面向電子工業(yè)的，其中有一半是面向集成電路。在近代集成電路制造的工藝中，有一半工序是在真空環(huán)境下進(jìn)行的，而當(dāng)今的超大規(guī)模集成電路大約有3／4的工序需要有真空條件。
據(jù)了解，我國(guó)真空設(shè)備行業(yè)歷經(jīng)40余年的發(fā)展，產(chǎn)品從制造單泵開始，逐步發(fā)展到今天能生產(chǎn)各種成套真空設(shè)備，形成了完整的真空工業(yè)體系。我國(guó)的真空設(shè)備行業(yè)產(chǎn)品主要有兩大類，一類是獲得和測(cè)量技術(shù)與產(chǎn)品，如泵、閥、儀表；另一類為應(yīng)用技術(shù)與設(shè)備，應(yīng)用設(shè)備只占應(yīng)用與獲得產(chǎn)品銷售比重的15％，其余為獲得設(shè)備。據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，2000年，國(guó)內(nèi)真空設(shè)備行業(yè)總銷售收入超過10億元。目前，我國(guó)真空設(shè)備行業(yè)較知名的企業(yè)有浙江真空設(shè)備廠、沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所、國(guó)投南光有限公司及北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司。
近年來(lái)，我國(guó)真空設(shè)備行業(yè)無(wú)論是產(chǎn)品的技術(shù)水平，還是可靠性方面都有了長(zhǎng)足發(fā)展。但是，與國(guó)外同行相比，我國(guó)真空設(shè)備行業(yè)的水平和能力還是很低的，尤其是代表當(dāng)今高技術(shù)水平的真空應(yīng)用設(shè)備，如應(yīng)用在電子材料、半導(dǎo)體材料及IT產(chǎn)業(yè)的真空設(shè)備，則還主要依賴進(jìn)口，國(guó)內(nèi)企業(yè)的生產(chǎn)能力和技術(shù)水平上還缺少競(jìng)爭(zhēng)力，并且在較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)難于扭轉(zhuǎn)這種局面。
