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真空鍍膜機中靶面磁場的分布優(yōu)化
2013-06-25  閱讀

來源:東莞市匯成真空科技有限公司  作者:東莞市匯成真空科技有限公司

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  靶面磁場的分布影響著磁控濺射真空鍍膜機的鍍膜效率,現(xiàn)在已經(jīng)研發(fā)的靶類型已經(jīng)有很多,如孿生靶、圓柱靶、平面靶等,這些靶的設(shè)計都能在不同程...