采用非平衡磁控濺射技術(shù)分別在氮化硅陶瓷球和高速工具鋼圓盤(pán)表面制備了類(lèi)金剛石(DLC)膜。使用箱式電阻爐對(duì)DLC膜在大氣環(huán)境中進(jìn)行高溫退火處理以研究環(huán)境溫度對(duì)DLC膜摩擦學(xué)性能的影響；并分別采用激光拉曼光譜儀和球-盤(pán)式摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)對(duì)退火處理前后DLC膜的結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能進(jìn)行了研究。采用金相顯微鏡觀察了摩擦副磨損表面的形貌。研究發(fā)現(xiàn)，隨著退火溫度的升高...
