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三種鍍膜技術(shù)各自的優(yōu)缺點(diǎn)
標(biāo)簽: 優(yōu)缺點(diǎn)
2023-12-30  閱讀

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康沃真空網(wǎng)真空鍍膜技術(shù)簡(jiǎn)稱PVD,在真空條件下,采用物理方法,使材料源表面氣化成原子、分子或離子,在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術(shù)。真空鍍膜設(shè)備鍍膜技術(shù)主要分為蒸鍍、濺射和離子鍍?nèi)箢?。而蒸發(fā)鍍膜技術(shù)也分為三種,電阻蒸發(fā),電子束蒸發(fā),感應(yīng)加熱蒸發(fā)。三種蒸發(fā)鍍膜技術(shù),各自有各自的特點(diǎn),下面小編為大家詳細(xì)介紹一下這三種鍍膜技術(shù)各自的優(yōu)缺點(diǎn),希望能幫助到大家:

    三種鍍膜技術(shù)各自的優(yōu)缺點(diǎn)

    電阻蒸發(fā)鍍膜技術(shù)采用電阻加熱蒸發(fā)源的蒸發(fā)鍍膜技術(shù),一般用于蒸發(fā)低熔點(diǎn)材料,如鋁、金、銀、硫化鋅、氟化鎂、三氧化二鉻等;加熱電阻一般采用鎢、鉬、鉭等。奇優(yōu)點(diǎn),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低。缺點(diǎn)材料易與坩堝反應(yīng),影響薄膜純度,不能蒸鍍高熔點(diǎn)的介電薄膜;蒸發(fā)率低。

    電子束蒸發(fā),利用高速電子束加熱使材料汽化蒸發(fā),在基片表面凝結(jié)成膜的技術(shù)。電子束熱源的能量密度可達(dá)104-109w/cm2,可達(dá)到3000℃以上,可蒸發(fā)高熔點(diǎn)的金屬或介電材料如鎢、鉬、鍺、SiO2、AL2O3等。

    電子束加熱的蒸鍍?cè)从兄睒屝碗娮訕尯蚭型電子槍兩種(也有環(huán)行),電子束自源發(fā)出,用磁場(chǎng)線圈使電子束聚焦和偏轉(zhuǎn),對(duì)膜料進(jìn)行轟擊和加熱。其優(yōu)點(diǎn)可蒸發(fā)任何材料,薄膜純度高,直接作用于材料表面,熱效率高。缺點(diǎn)電子槍結(jié)構(gòu)復(fù)雜,造價(jià)高,化合物沉積時(shí)易分解,化學(xué)比失調(diào)。

    感應(yīng)加熱蒸發(fā),利用高頻電磁場(chǎng)感應(yīng)加熱,使材料汽化蒸發(fā)在基片表面凝結(jié)成膜的技術(shù)。其優(yōu)點(diǎn)蒸發(fā)速率大,可比電阻蒸發(fā)源大10倍左右,蒸發(fā)源的溫度穩(wěn)定,不易產(chǎn)生飛濺現(xiàn)象,坩堝溫度較低,坩堝材料對(duì)膜導(dǎo)污染較少。其缺點(diǎn)蒸發(fā)裝置必須屏蔽,造價(jià)高、設(shè)備復(fù)雜。

    發(fā)真空鍍膜設(shè)備這三種蒸發(fā)鍍膜技術(shù)雖然原理都是一樣,都是通過(guò)高溫蒸發(fā)材質(zhì)汽化的方式鍍膜,但是所應(yīng)用的環(huán)境卻不一樣,鍍的膜材和基材也有不同的要求。

    磁控濺射鍍膜優(yōu)勢(shì)介紹

    真空鍍膜設(shè)備鍍膜技術(shù)大方向來(lái)分有三種,蒸發(fā)鍍膜技術(shù),離子鍍膜技術(shù),磁控濺射鍍膜設(shè)備,每種鍍膜技術(shù)都有各自的優(yōu)缺點(diǎn),鍍制不同的基材,不同的靶材,選擇的鍍膜技術(shù)是不相同的。下面小編為大家詳細(xì)介紹一下磁控濺射真空鍍膜設(shè)備技術(shù),希望能幫助到大家:

    三種鍍膜技術(shù)各自的優(yōu)缺點(diǎn)

    磁控濺射工藝的主要優(yōu)點(diǎn)是可以使用反應(yīng)性或非反應(yīng)性鍍膜工藝來(lái)沉積這些材料的膜層,并且可以很好地控制膜層成分、膜厚、膜厚均勻性和膜層機(jī)械性能等,因此市面上鍍制膜層,對(duì)膜層要求比較高,幾乎都采用磁控濺射鍍膜技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)。磁控濺射鍍膜技術(shù)有一下幾點(diǎn)優(yōu)勢(shì)

    沉積速率大。由于采用高速磁控電極,可獲得的離子流很大,有效提高了此工藝鍍膜過(guò)程的沉積速率和濺射速率。與其它濺射鍍膜工藝相比,磁控濺射的產(chǎn)能高、產(chǎn)量大、于各類工業(yè)生產(chǎn)中得到廣泛應(yīng)用。

    功率效率高。磁控濺射靶一般選擇200V-1000V范圍之內(nèi)的電壓,通常為600V,因?yàn)?00V的電壓剛好處在功率效率的最高有效范圍之內(nèi)。

    濺射能量低。磁控靶電壓施加較低,磁場(chǎng)將等離子體約束在陰極附近,可防止較高能量的帶電粒子入射到基材上。

    基片溫度低。可利用陽(yáng)極導(dǎo)走放電時(shí)產(chǎn)生的電子,而不必借助基材支架接地來(lái)完成,可以有效減少電子轟擊基材,因而基材的溫度較低,非常適合一些不太耐高溫的塑料基材鍍膜。

    磁控濺射靶表面不均勻刻蝕。磁控濺射靶表面刻蝕不均是由靶磁場(chǎng)不均所導(dǎo)致,靶的局部位置刻蝕速率較大,使靶材有效利用率較低(僅20%-30%的利用率)。因此,想要提高靶材利用率,需要通過(guò)一定手段將磁場(chǎng)分布改變,或者利用磁鐵在陰極中移動(dòng),也可提高靶材利用率。

    復(fù)合靶??芍谱鲝?fù)合靶鍍合金膜,目前,采用復(fù)合磁控靶濺射工藝已成功鍍上了Ta-Ti合金、(Tb-Dy)-Fe以及Gb-Co合金膜。復(fù)合靶的結(jié)構(gòu)有四種,分別是圓塊鑲嵌靶、方塊鑲嵌靶、小方塊鑲嵌靶以及扇形鑲嵌靶,其中以扇形鑲嵌靶結(jié)構(gòu)的使用效果為佳。

    應(yīng)用范圍廣。磁控濺射工藝可沉積元素有很多,常見(jiàn)的有:Ag、Au、C、Co、Cu、Fe、Ge、Mo、Nb、Ni、Os、Cr、Pd、Pt、Re、Rh、Si、Ta、Ti、Zr、SiO、AlO、GaAs、U、W、SnO等。

    真空鍍膜設(shè)備磁控鍍膜技術(shù)是眾多獲得高質(zhì)量的薄膜技術(shù)當(dāng)中使用最廣泛的一種鍍膜工藝,膜層類型多樣化,膜層厚度可控性強(qiáng),膜層附著力高,致密性好,表面光潔度也是非常靚麗。