【康沃真空網(wǎng)】很多真空鍍膜機工程師在鍍膜工件完成后,有時會發(fā)現(xiàn)工件表面會出現(xiàn)白霧的問題,有的是出現(xiàn)在外表面,有的是出現(xiàn)在內(nèi)表面,用丙酮或混合液擦拭,會有越擦越嚴重的現(xiàn)象,如果不能及時查明原因,就會造成不良率提升,這是很多鍍膜工程師苦惱的問題,下面為大家介紹一下出現(xiàn)膜外白霧和膜內(nèi)白霧的原因,以及解決方法,希望能幫助到大家:
真空鍍膜機鍍工件白霧在內(nèi)測,膜外白霧的成因較為復雜,可能的成因有:
膜結(jié)構(gòu)問題:外層膜的柱狀結(jié)構(gòu)松散,外層膜太粗糙。
蒸發(fā)角過大,膜結(jié)構(gòu)粗糙。
溫差:鏡片出罩時內(nèi)外溫差過大。
潮氣;鏡片出罩后擺放環(huán)境的潮氣。
真空室內(nèi)POLYCOLD解凍時水汽過重。
蒸鍍中充氧不完全,膜結(jié)構(gòu)不均勻。
膜與膜之間的應力。
改善思路:膜外白霧成因很多,但各有些特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環(huán)境減少吸附的對象。
改善對策:
改善膜系,外層加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善鏡片出罩時的環(huán)境(干燥、清潔)
降低出罩時的鏡片溫度(延長在真空室的冷卻時間)減少溫差、降低應力。
改善充氧(加大),改善膜結(jié)構(gòu)。
適當降低蒸發(fā)速率,改善柱狀結(jié)構(gòu)。
離子輔助鍍膜,改善膜結(jié)構(gòu)。
加上polycold解凍時的小充氣閥(其功能是及時帶走水汽)。
從蒸發(fā)源和夾具上想辦法改善蒸發(fā)角。
改善基片表面粗糙度。
注意polycold解凍時的真空度。
真空鍍膜機鍍工件,白霧形成在膜內(nèi),無法用擦拭方法祛除,可能的原因:
基片臟,附著前工程的殘留物
鏡片表面腐蝕污染
膜料與膜料之間、膜料與基片之間的匹配。
氧化物充氧不夠。
第一層氧化鋯膜料,可能對某些基片產(chǎn)生白暈現(xiàn)象
基片進罩前(洗凈后)受潮氣污染
洗凈或擦拭不良,洗凈痕跡、擦拭痕跡
真空室臟、水氣過重
環(huán)境濕度大
改善思路:基片本身的問題可能是主要的,鍍膜是盡量彌補,鍍膜本身最大的可能是膜料匹配問題。
改善對策:
改進膜系,第一層不用氧化鋯。
盡量減少真空室開門時間,罩與罩之間在最短的時間內(nèi)做好真空室的清潔、鍍膜準備工作。
真空室在更換護板、清潔后,最好能空罩抽真空烘烤一下,更換的護板等真空室部件必須干燥、干凈。
改善環(huán)境
妥善保護進罩前在傘片上的鏡片,免受污染。
改善洗凈、擦拭效果。
改善膜匹配。
改善膜充氧和蒸發(fā)速率(降低)
加快前工程的流程。前工程對已加工光面的保護加強。
拋光加工完成的光面,必須立即清潔干凈,不能有拋光粉或其他雜質(zhì)附著干結(jié)。