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真空鍍膜機鍍工件時出現(xiàn)白霧的原因和改善對策
標簽: 真空鍍膜
2023-12-12  閱讀

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康沃真空網(wǎng)】很多真空鍍膜機工程師在鍍膜工件完成后,有時會發(fā)現(xiàn)工件表面會出現(xiàn)白霧的問題,有的是出現(xiàn)在外表面,有的是出現(xiàn)在內(nèi)表面,用丙酮或混合液擦拭,會有越擦越嚴重的現(xiàn)象,如果不能及時查明原因,就會造成不良率提升,這是很多鍍膜工程師苦惱的問題,下面為大家介紹一下出現(xiàn)膜外白霧和膜內(nèi)白霧的原因,以及解決方法,希望能幫助到大家:

    真空鍍膜機鍍工件白霧在內(nèi)測,膜外白霧的成因較為復雜,可能的成因有:

  1.     膜結(jié)構(gòu)問題:外層膜的柱狀結(jié)構(gòu)松散,外層膜太粗糙。

  2.     蒸發(fā)角過大,膜結(jié)構(gòu)粗糙。

  3.     溫差:鏡片出罩時內(nèi)外溫差過大。

  4.     潮氣;鏡片出罩后擺放環(huán)境的潮氣。

  5.     真空室內(nèi)POLYCOLD解凍時水汽過重。

  6.     蒸鍍中充氧不完全,膜結(jié)構(gòu)不均勻。

  7.     膜與膜之間的應力。

    改善思路:膜外白霧成因很多,但各有些特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環(huán)境減少吸附的對象。

    改善對策:

  1.     改善膜系,外層加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善鏡片出罩時的環(huán)境(干燥、清潔)

  2.     降低出罩時的鏡片溫度(延長在真空室的冷卻時間)減少溫差、降低應力。

  3.     改善充氧(加大),改善膜結(jié)構(gòu)。

  4.     適當降低蒸發(fā)速率,改善柱狀結(jié)構(gòu)。

  5.     離子輔助鍍膜,改善膜結(jié)構(gòu)。

  6.     加上polycold解凍時的小充氣閥(其功能是及時帶走水汽)。

  7.     從蒸發(fā)源和夾具上想辦法改善蒸發(fā)角。

  8.     改善基片表面粗糙度。

  9.     注意polycold解凍時的真空度。

    真空鍍膜機鍍工件,白霧形成在膜內(nèi),無法用擦拭方法祛除,可能的原因:

  •     基片臟,附著前工程的殘留物

  •     鏡片表面腐蝕污染

  •     膜料與膜料之間、膜料與基片之間的匹配。

  •     氧化物充氧不夠。

  •     第一層氧化鋯膜料,可能對某些基片產(chǎn)生白暈現(xiàn)象

  •     基片進罩前(洗凈后)受潮氣污染

  •     洗凈或擦拭不良,洗凈痕跡、擦拭痕跡

  •     真空室臟、水氣過重

    環(huán)境濕度大

  •     改善思路:基片本身的問題可能是主要的,鍍膜是盡量彌補,鍍膜本身最大的可能是膜料匹配問題。

  •     改善對策:

  •     改進膜系,第一層不用氧化鋯。

  •     盡量減少真空室開門時間,罩與罩之間在最短的時間內(nèi)做好真空室的清潔、鍍膜準備工作。

  •     真空室在更換護板、清潔后,最好能空罩抽真空烘烤一下,更換的護板等真空室部件必須干燥、干凈。

  •     改善環(huán)境

  •     妥善保護進罩前在傘片上的鏡片,免受污染。

  •     改善洗凈、擦拭效果。

  •     改善膜匹配。

  •     改善膜充氧和蒸發(fā)速率(降低)

  •     加快前工程的流程。前工程對已加工光面的保護加強。

  •     拋光加工完成的光面,必須立即清潔干凈,不能有拋光粉或其他雜質(zhì)附著干結(jié)。