【康沃真空網(wǎng)】真空鍍膜機(jī)工作期間必須要配置真空泵，工件才能在需要的真空度條件下，進(jìn)行鍍膜。真空度是真空鍍膜工藝的一個(gè)重要的參數(shù)，工件鍍的膜層不一樣，采用的鍍膜工藝不一樣，那么對(duì)真空鍍的要求也不太一樣。下面小編為大家介紹一下真空鍍膜機(jī)鍍膜期間需要配置的真空泵。
一、產(chǎn)生、改善或維持真空的裝置， 真空鍍分低真空，中真空，高真空，那么低真空、中真空、高真空各采用的真空泵類型是不一樣的，如低真空，一般才有機(jī)械泵和旋片泵，中真空采用滑閥泵、羅茨泵，高真空采用擴(kuò)散泵和分子泵。那么根據(jù)工件和鍍制的膜層材料不一樣，采用的鍍膜工藝不太一樣，那么各階段真空鍍采用的真空泵型號(hào)不一樣，以及真空泵數(shù)量也有區(qū)別。
日常我們常說(shuō)低真空是指，低真空 10E5~10E2 Pa，中真空10E2~10E-1 Pa，高真空10E-1~10E-5 Pa，超高真空 <10E-5 Pa。
二、真空鍍膜機(jī)：蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺射鍍膜機(jī)、離子鍍膜機(jī)和等離子化學(xué)沉積裝置等。
三、真空測(cè)量?jī)x器：測(cè)量低于一個(gè)大氣壓的氣體和蒸汽壓力的儀器。
A、低真空計(jì)(測(cè)量范圍105--102Pa)。
B、中真空計(jì)(測(cè)量范圍l02一l0-1Pa)
C、高真空計(jì)(測(cè)量范圍l0-1一10-5Pa)。
D、超高真空計(jì)(測(cè)量范圍< 10-5Pa)。
四、真空檢漏儀一檢測(cè)真空系統(tǒng)或元件漏孔的位置或漏率的儀器。包括高頻火花檢漏儀、鹵素檢漏儀和氦質(zhì)譜檢漏儀等。
五、真空閥門一在真空系統(tǒng)中，用于調(diào)節(jié)流量、切斷或接通管路的元件。包括插板閥、擋板閥、電磁閥、電磁帶放氣閥、隔膜閥和調(diào)節(jié)閥等。
為了更好的認(rèn)識(shí)和選擇真空鍍膜機(jī)真空泵，我們必須要注意下面幾點(diǎn)：
1、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若是工藝過(guò)程不支持，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)的一系列措施。
2、了解被抽氣體成分，氣體中有無(wú)顆?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵的時(shí)候需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體時(shí)需要選擇相應(yīng)的泵。若是氣體中含有蒸氣、顆粒以及腐蝕性的氣體，需要考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備。
3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，可以排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部的氣體量。
4、正確地組合真空泵。有的時(shí)候選用一種泵不能滿足抽氣要求，由于真空泵有選擇性抽氣，需要幾種泵組合相互補(bǔ)充才能滿足抽氣的要求。如果鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但是不能進(jìn)行抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的泵效，兩者組合起來(lái)，則會(huì)使真空裝置得到相應(yīng)的真空度。此外,有的真空泵不可以在大氣壓力下工作,必須預(yù)真空泵:有的真空泵出入口壓強(qiáng)小于大氣壓力,必須前面泵,故都必須把泵組成起來(lái)應(yīng)用。
5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備明確要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選用各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等，如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，再加一些抗油環(huán)境污染對(duì)策,亦或者冷阱、障板、擋油阱等,也可以做到清理真空泵規(guī)定。
6、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)比較合適，而不能讓它在25~30mmHg下長(zhǎng)期的工作。當(dāng)泵必須的空氣壓力不太高或需要的真空度不太高的情況下，可優(yōu)先選擇在單極泵中開(kāi)展選擇，渡過(guò)排氣管工作壓力或真空度的規(guī)定較為高，單極泵通常不能符合要求，能夠選擇應(yīng)用二級(jí)泵或是多級(jí)離心泵。
如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,在那樣寬壓強(qiáng)范疇內(nèi),泵的泵效隨壓強(qiáng)而轉(zhuǎn)變,其平穩(wěn)的工作壓強(qiáng)范疇為5*10-4~5x10-6毫米Hg。因此,泵的工作點(diǎn)應(yīng)當(dāng)選在這個(gè)范疇以內(nèi),而不可以讓它在10-8毫米Hg下長(zhǎng)期性工作。又如鈦提升泵能夠在10-3mmHg下工作,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)低于1x10-5毫米Hg為好。
7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選擇無(wú)油性真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
8、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，最好能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
9、最后就是考慮真空泵的初裝價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用了，結(jié)合實(shí)際情況選擇性價(jià)比高的真空泵。
