光學(xué)真空鍍膜設(shè)備主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組限及電柜(控制電柜、電子槍電樞)組成,其廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。光學(xué)真空鍍膜設(shè)備在防止油污染和縮短工作周期等方面具有卓越的性能。
光學(xué)真空鍍膜設(shè)備工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當(dāng)?shù)臏囟?,材料受熱后蒸發(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大,蒸發(fā)出來的蒸汽分子向四處直射,碰到基片就沉積在基片表面形成臘層。
精密光學(xué)真空鍍膜設(shè)備在保養(yǎng)的時候有哪些保養(yǎng)方面的措施,下面的內(nèi)容中我們就來了解。
真空鍍膜機擴散泵油使用一段時間,約二個月兩班:,因在長期高溫環(huán)境,雖然較高真空時才啟動擴散泵,但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴散泵油起反應(yīng),擴散泵油在高溫下也可能產(chǎn)生裂解,使其品質(zhì)下降,而延長抽氣時間。在我們認(rèn)為時間延長得太多時,應(yīng)予更換。
二、真空泵
真空鍍膜機機械泵油、維持泵油在使用二個月,油質(zhì)會發(fā)生變化。因油可能抽入水分、雜質(zhì)及其它原因,而使用油粘性變差,真空下降,故需要更換。如為新設(shè)備,在使用頭半個月即應(yīng)更換,因在磨合期,油含磨合鐵粉較多,會加劇磨損。
三、清潔衛(wèi)生
定期將真空鍍膜設(shè)備及其周圍環(huán)境衛(wèi)生搞好,常保持設(shè)備內(nèi)外清潔,將真空鍍膜設(shè)備周圍環(huán)境整理有條,有一個好的工作環(huán)境,以保安全。