真空工藝進(jìn)行前應(yīng)清洗真空材料，從工件或系統(tǒng)材料表面清除污染物；車燈鍍膜機(jī)零部件的表面清洗處理也是很有必要的，因?yàn)橛晌廴疚锼斐傻臍怏w、蒸氣源不僅會(huì)使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在，同時(shí)也會(huì)影響真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能。
污染物可以定義為“任何一種無用的物質(zhì)或能量”，多弧離子鍍膜機(jī)根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體，它們以膜或散粒形式存在。就其化學(xué)特征來看，它可以處于離子態(tài)或共價(jià)態(tài)，可以是無機(jī)物或有機(jī)物。
暴露在空氣中的表面z*易受到污染，污染的來源有多種，z*初的污染通常是表面本身形成過程中的一部分。吸附現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、浸析和干燥過程、機(jī)械處理以及擴(kuò)散和離析過程都使各種成分的表面污染物增加。比較常見的真空材料表面上的污染物具體有以下幾種類型。
①油脂：加工、裝配、操作時(shí)沾染上的潤滑劑、切削液、真空油脂等；
②水基類：操作時(shí)的手汗、吹氣時(shí)的水汽、唾液等；
③表面氧化物：材料長期放置在空氣中或放置在潮濕空氣中所形成的表面氧化物；
④酸、堿、鹽類物質(zhì)：清洗時(shí)的殘余物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等；
⑤拋光殘?jiān)碍h(huán)境空氣中的塵埃和其它有機(jī)物等。
清洗后的表面根據(jù)要求分為原子級(jí)清潔表面和工藝技術(shù)上的清潔表面兩類。
前期到位的清洗工作可以減少很多麻煩，避免濺控濺射鍍膜機(jī)很多小問題的發(fā)生，對(duì)工作效率、真空鍍膜機(jī)鍍膜質(zhì)量都具有非常積極的作?？纱蟠筇岣哒婵障到y(tǒng)中所有器壁和其它組件表面在各工作條件下的工作穩(wěn)定性。這些工作條件包括：高溫、低溫、以及電子、離子、光子或重粒子的發(fā)射和轟擊。
