針對(duì)幾種應(yīng)用于工具鍍膜的磁場(chǎng)控制的電弧離子鍍弧源，分析了其結(jié)構(gòu)、工作原理以及弧斑運(yùn)動(dòng)、放電特性；比較了不同磁場(chǎng)輔助受控弧源的靶結(jié)構(gòu)及磁場(chǎng)位形，并討論了對(duì)弧斑運(yùn)動(dòng)、放電及鍍膜工藝的影響；對(duì)磁場(chǎng)控制的電弧離子鍍弧源的發(fā)展進(jìn)行了展望。
提高工具、模具的加工質(zhì)量和使用壽命一直是人們不斷探索的課題。電弧離子鍍技...
