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采用磁控濺射的方法，選用化學(xué)成分相同而相結(jié)構(gòu)完全不同的兩種靶材在硬質(zhì)合金基體上沉積薄膜，使用X射線衍射、掃描電鏡、X射線能譜儀和壓痕法分別測(cè)量了薄膜的相結(jié)構(gòu)、表面形貌、薄膜的化學(xué)成分和薄膜與基體的結(jié)合力，結(jié)果表...
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