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用熱絲化學氣相沉積法制備金剛石涂層微細刀具的過程中，刀具表面溫度場分布的均勻性與穩(wěn)定性對金剛石涂層的質(zhì)量具有決定性的作用。本文采用有限容積法，對微細刀具表面沉積金剛石涂層過程中的溫度場分布進行了仿真研究，采用Taguchi正交試驗法考察了熱絲直徑d、熱絲高度H、熱絲間距D 以及熱絲長度L 對溫度場均勻性的影響，并獲得了z*優(yōu)參數(shù)組合，即d=0.65m...