超納米金剛石具有優(yōu)異的物理和化學(xué)性質(zhì)，化學(xué)氣相沉積法制備超納米金剛石膜近年來引起了該領(lǐng)域相關(guān)研究人員的極大關(guān)注。文章對超納米金剛石與其他CVD 金剛石的性質(zhì)進(jìn)行了對比，對超納米金剛石的生長機(jī)理進(jìn)行了簡要概述，著重分析了各種化學(xué)氣相沉積技術(shù)制備超納米金剛石的基本原理、特點(diǎn)及取得的研究成果，z*后詳細(xì)討論了超納米金剛石的應(yīng)用和今后研究方向。
引言
CVD...
