簡述了研究膜層光學(xué)薄膜參數(shù)測量方法的必要性。詳細(xì)介紹了各種測量方法的理論思想、測量準(zhǔn)確度、測量范圍。綜合比較了各種測量方法的優(yōu)缺點(diǎn)和適用性,研究了測量不同類型薄膜系統(tǒng)膜層光學(xué)薄膜參數(shù)的z*佳測量方法。z*后總結(jié)了膜層光學(xué)薄膜參數(shù)測量方法的發(fā)展,并提出了建議。 1、引言 近年來,隨著光學(xué)薄膜在空間遙感、精密光學(xué)、高質(zhì)量投影與顯示等技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用的不斷深入...