真空噴涂和真空鍍膜技術(shù)研究 劉敏 周克崧 代明江 鄧春明 林松盛 廣州有色金屬研究院，廣東廣州，510651，中國 摘要： 　　本文介紹了廣州有色金屬研究院材料表面所20多年來在真空噴涂和真空鍍膜方面的研究工作和今后的研究方向。 　　在真空噴涂方面，主要介紹了該工藝制備抗高溫氧化NiCoCrAlYTa涂層、抗空泡腐蝕Ti-Ni涂層、Ti生物涂層和抗等離子體作用W涂層等的研究和應(yīng)用情況，目前抗高溫氧化NiCoCrAlYTa涂層生產(chǎn)線已經(jīng)建立，生產(chǎn)了抗高溫氧化性能良好的涂層葉片，該涂層葉片發(fā)動機(jī)已經(jīng)裝備了我國部分飛機(jī)。薄涂層技術(shù)由于可以獲得厚度在10-50 mm、性能優(yōu)良的涂層而成為真空噴涂發(fā)展的新方向。與普通真空噴涂相比，薄涂層技術(shù)的真空度要求更高，可以通過工藝控制實(shí)現(xiàn)液相或者氣相噴涂，獲得所需要的層狀、柱狀或者復(fù)合結(jié)構(gòu)的涂層，從而在SOFC、TBC、純氧技術(shù)等方面有著廣闊的應(yīng)用前景。廣州有色金屬研究院在這一國際前沿領(lǐng)域開展了初步研究，已經(jīng)采用薄涂層技術(shù)獲得了性能優(yōu)于普通真空噴涂的金屬涂層。由于電源和噴槍功率的原因，還無法實(shí)現(xiàn)陶瓷薄涂層的開發(fā)，目前正在開展這方面的設(shè)備改造、噴槍設(shè)計(jì)等研究工作。 　　在真空鍍膜方面，主要采用多陰極弧、離子源磁控濺射和等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積等工藝研制了金剛石膜、類金剛石膜和多元素多層硬質(zhì)膜，目前這些薄膜已經(jīng)成功應(yīng)用于高保真喇叭膜、微型轉(zhuǎn)頭、高精密光盤模具等，取得了較大的經(jīng)濟(jì)和社會效益。 關(guān)鍵詞：真空噴涂 薄涂層技術(shù) 真空鍍膜