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濺射離子泵屬吸氣離子泵之一種，其型式頗多，基本型是二極式。它由圓筒陽極和在其兩端的兩個相對的鈦陰極組成。沿陽極筒軸向加一磁場。

　　在低壓強情況下，給陰、陽極問加一數(shù)千伏的直流電壓，則由于冷陰極的場致發(fā)射及其他原因(如宇宙射線引起的光電發(fā)射、二次發(fā)射等)，泵內(nèi)將產(chǎn)生少量的電子。這些電子在交叉電磁場作用下，沿螺旋形軌道迂回地向陽極運動。由于磁場的約束，這些電子一般不會落到陽極上，而是貼近陽極筒形成旋轉(zhuǎn)的電子云，其旋轉(zhuǎn)的路程相當(dāng)長，在旋轉(zhuǎn)途中易與氣體分子碰撞，產(chǎn)生出離子和繁流二次電子。該電子也被束縛在磁場內(nèi)，參加電離過程。離子在陽、陰極電場作用下，飛向并轟擊鈦板陰極，使鈦濺射并打出二次電子。該二次電子仍被電磁場作用而參加到電子云里，因此放電可維持到很低的壓強(因不斷有繁流二次電子和二次電子補充跑到陽極上而損失的旋轉(zhuǎn)電子)。濺射出的鈦原子，不斷沉積在陽極內(nèi)壁和陰極板上?；钚詺怏w分子與新鮮的鈦膜發(fā)生反應(yīng)，進行化學(xué)吸附，同時又被不斷濺射來的新鮮鈦膜所埋葬。惰性氣體分子一旦被電離，其離子便很快打進陰極表面濺射不激烈的部分(對應(yīng)于陽極圓筒的邊緣部分)以及沉積在陽極表面的鈦層內(nèi)被埋葬。輕的氣體，如氫，則以離子或仍以中性分子狀態(tài)射到陰極上，形成氫化鈦，并擴散于陰極內(nèi)。

　　該泵具有使用簡單、可靠、無油、無噪聲、無熱、無水、耗電少等優(yōu)點。但對氬存有抽氣不穩(wěn)定現(xiàn)象(原先被埋的氬又被后來的離子轟擊出)。由于氬離子是在陰極被埋葬排除的，所以可改進陰極本身的結(jié)構(gòu)，使濺射速率增大，從而增大對氬的抽速來解決。由此，出現(xiàn)了許多改進式結(jié)構(gòu)，如二極型(開槽陰極型、非對稱陰極型、磁控管型)、三極型(單電壓、雙電壓三極型)和復(fù)合型(濺射離子泵一升華泵的組合)等。

　　濺射離子泵的極限真空一般為10-11乇，工作壓強范圍為10-2～10-11乇，抽速達數(shù)升/秒至數(shù)萬升/秒。